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| 涂料專利：硅氧烷樹脂型抗反射涂料組合物 |
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| 2006-10-8 中國聚合物網(wǎng) |
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名 稱：具有高的濕蝕刻速率的硅氧烷樹脂型抗反射涂料組合物
公 開 (公告) 號： CN1780874
公開(公告)日： 2006.05.31
申請(專利權(quán))人： 陶氏康寧公司
地 址： 美國密執(zhí)安
發(fā) 明 (設(shè)計)人： B·鐘;E·S·莫耶
專利 代理 機構(gòu)： 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標(biāo)事務(wù)所
代 理 人： 鄧 毅
摘要
本發(fā)明公開了一種組合物，其包括具有通式(HSiO3/2)a(SiO4/2)b(HSiX3/2)c(SiX4/2)d的硅氧烷樹脂，其中各X獨立地是 -O-、-OH、或 -O-(CH2)m-Zn，其中各m獨立地是1到大約5的整數(shù)，Z是芳族部分，和各n獨立地是1到大約6的整數(shù)；0＜a＜1，0＜b＜1，0＜c＜1，0＜d＜1，和a+b+c+d＝1。本發(fā)明還公開了制備該硅氧烷樹脂組合物的方法和在基材上制備抗反射涂層的方法，其中抗反射涂層由該硅氧烷樹脂組合物獲得。
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| （責(zé)任編輯：一青） |
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