VICTREX®PEEK®聚合材料、VICOTE™涂料和APTIV™薄膜等高性能材料的領先全球制造商英國威格斯公司(Victrex plc)近日宣布，基于VICTREX®PEEK®聚合材料的VICOTE涂料已被光電、半導體設備制造商擎邦國際科技工程股份有限公司(King Polytechnic Engineering Co., Ltd)所采用，被應用于制造2", 8", 12", 甚至更大的晶圓以及LCD面板的中大型旋轉噴涂/浸漬噴涂(SPIN/DIP)設備系列上。VICOTE 804 BLK憑借其優異耐化學腐蝕性、耐高溫性與絕佳的附著力，成功地取代了原有的PTFE涂層。VICOTE涂料可減少涂布機在顯影、蝕刻與去光阻制造過程中所產生的發塵量。這不但可延長設備使用壽命，減少設備維修，更可大幅提升晶圓與LCD面板的生產效率與成品率。
在半導體或LCD制造過程中，光刻(photolithography)是最關鍵也是最困難的步驟。光阻劑、蝕刻液與顯影液需透過旋轉噴涂/浸漬噴涂方式，才可以在晶圓與玻璃基板面板上完成制造(fabrication)。面對強酸堿化學物質與高溫等極為嚴苛的制造環境，設備的穩定與均勻性直接影響晶圓與LCD面板的成品率。
擎邦無塵室事業部廠長黃可強表示：“從終端用戶的角度出發，采用VICOTE涂料可減少設備維修與停工時間，進而提升晶圓與LCD面板的生產效率與成品率。之前所采用的PTFE在顯影、蝕刻與去光阻制造過程中，經冷熱循環、受強酸堿化學物質以及高溫環境所影響，PTFE涂層容易掉落，從而導致頻繁維修旋轉噴涂設備。但自從采用VICOTE涂料后，至今都還沒接到維修需求。目前用于制造8”以上晶圓與LCD面板的中大型旋轉噴涂/浸漬噴涂涂布機系列都已采用VICOTE804 BLK涂料。”
威格斯臺灣區經理李自立指出：“隨著半導體工業向更大晶圓尺寸、更高密度、更嚴苛的化學以及高溫加工生產環境發展，引進先進的材料和加工技術已成為產業發展的關鍵。VICOTE涂料兼具出色的耐磨性與極佳的基材附著力及耐化學腐蝕性，可大幅度減少顆粒產生量，并能承受大部分的化學物質侵蝕。制造設備的關鍵性零件通過采用VICOTE涂料，可延長設備的使用壽命與減少設備維修需求。通過不同的產品供應形式(粉末涂料與分散液涂料)，可為終端用戶提供靈活且符合經濟效益的應用模式。這次與擎邦的合作也進一步證明VICTREX PEEK是全球半導體產業最理想的材料選擇。”
VICOTE涂料是基于VICTREX PEEK 聚合材料的新型涂料，分為粉末與分散液涂料兩種，提供優異的抗刮傷、耐磨性、耐高溫、高強度和耐久性。環保的VICOTE涂料的研發成功填補了當今涂料技術領域在性能上的不足。無論是用于工業、汽車、食品加工、半導體、電子或者醫藥領域，VICOTE涂料都是工程師們的理想選擇。可幫助工程師在應用過程中提升產品的耐摩擦性，延長設備中涂裝組件的使用壽命。VICOTE涂料可用靜電或傳統的分散液技術進行涂裝。
