3月12日，由湖南南方搏云新材料有限責任公司和中南大學共同完成的“碳纖維增強碳基體復合材料及硅晶體生長爐熱場研制與開發(fā)”項目在長沙通過了湖南省科技廳組織的科技成果鑒定。
專家認為，該成果根據(jù)硅晶體生長爐熱場系統(tǒng)零件的功能，成功設計了低密度、高中密度、密度梯度三類碳/碳復合材料，產(chǎn)品種類齊全。材料的主要性能參數(shù)符合制造硅晶體生長爐熱場系統(tǒng)要求，促進我國高端半導體生產(chǎn)所需的熱場材料跨上了一個新的臺階。并且系統(tǒng)地開發(fā)了擁有自主知識產(chǎn)權的碳纖維增強碳基體材料生產(chǎn)工藝，有效保證了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。在國內(nèi)的硅晶體熱場系統(tǒng)中，首次成套地采用碳/碳復合材料，擁有硅晶體生長爐熱場材料制品、制備工藝和成套設備的核心技術，產(chǎn)品填補了國內(nèi)空白，總體技術達到國際先進水平。
目前，項目承擔單位已自主研發(fā)了直徑達到1520mm的國內(nèi)最大的整體式碳/碳復合材料加熱器和碳/碳固化保溫件，具有使用可靠、操作方便、運營經(jīng)濟、節(jié)能環(huán)保、減少電網(wǎng)污染等一系列優(yōu)點，能夠有效地提高硅晶體生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)能耗。項目孵化期年產(chǎn)值已達2330萬元，用戶反映良好，具有廣闊的市場前景和產(chǎn)業(yè)化基礎。
