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近日，由上海微系統所信息功能材料國家重點實驗室曹俊誠研究員負責的太赫茲（THz）課題組自主成功研制了激射頻率為3.2 THz的量子級聯激光器（QCL）。該器件的整個研制過程，包括有源區材料生長、器件流片工藝以及光電特性測試等均在微系統所完成，為發展相關THz應用系統奠定了基礎。

THzQCL具有體積小、輕便、易集成、能量轉換效率高，并且可在連續波模式下工作等優點。它是一種具有復雜結構的半導體量子器件。課題組采用V90氣態源分子束外延設備生長了基于GaAs/AlGaAs材料體系的THzQCL有源區；采用單面金屬波導工藝制備并封裝了THzQCL器件；采用遠紅外傅里葉變換光譜儀測試了器件的發射譜，激射頻率為3.2 THz。