深紫外（一般指波長短于200納米）固態激光源是目前正在開發的一個重要的激光應用領域，是當前分析儀器發展的重要方向之一。它在提高科學儀器的空間分辨率、時間分辨率、能量分辨率方面起到重要作用。此光源的開發將極大地推動各種光電子能譜儀、激光光譜儀、激光拉曼光譜儀等高技術領域和先進儀器制造業的發展。
深紫外固態激光源科研裝備可為化學、物理、信息、資源環境、生命科學等領域提供全新的研究手段，對科研活動將起到革命性的推動作用。
全球首臺177.3納米深紫外區拉曼光譜儀，全球最高空間分辨率深紫外激光光發射電子顯微鏡（PEEM）——最近，我國科研人員在重大科學儀器自主研制上獲得兩項創新成果。5月17日，由中科院組織，清華大學朱靜院士任組長，清華大學、廈門大學、北京大學等機構的15位專家組成的驗收委員會對中科院大連化學物理研究所承擔的國家重大科研裝備研制項目“深紫外固態激光源前沿裝備研制項目”子項目——“深紫外拉曼光譜儀研制”和“深紫外激光光發射電子顯微鏡的研制”項目進行審核，一致同意其通過驗收。
據介紹，“深紫外拉曼光譜儀研制”項目利用我國自主研制的177.3納米深紫外激光光源，采用外光路橢圓反射收集鏡和深紫外區170～400納米光譜響應的三聯光柵成像單色儀，研制成功了國際上首臺177.3納米深紫外區拉曼光譜儀，并首次實現了193～240納米激發波長的連續可調。該譜儀已經初步應用于催化、材料、能源等領域的拉曼光譜研究，顯示出獨特優勢。
驗收委員會在聽取“深紫外拉曼光譜儀研制”項目負責人李燦院士的工作報告等，檢查了儀器運轉情況，并審核相關材料后表示：這種深紫外拉曼光譜儀各項性能達到了任務書要求，儀器運轉正常，完成了預定的研制任務。它的成功研制將推動我國深紫外拉曼光譜儀的發展及其在催化等領域的研究，進一步保持我國在國際催化表征研究和相關研究領域的領先地位。驗收委員會一致同意該項目通過驗收，并建議項目組加強有關研究和儀器的下一步應用推廣工作。
另一項由包信和院士領導的“深紫外激光光發射電子顯微鏡的研制”項目，首次將我國科學家自主研制的深紫外激光光源應用于光發射電子顯微鏡技術中，利用深紫外激光的高能量、高強度等特點獲得了3.9納米的空間分辨率——這是目前國際上報道的最高水平。并且，在該光發射電子顯微鏡系統的研制中第一次引入鏡面透鏡的方式實現像差矯正功能，利用半球能量分析器進行光電子的能量選擇，采用場發射電子槍用于低能電子顯微成像和微區電子衍射，結合深紫外激光技術，使得該系統能夠實現在高空間分辨條件下的表面化學和表面結構的動態原位研究，是一套世界領先并且功能獨特的表面研究平臺。該系統已成功地應用于催化、材料、能源等領域的原位和動態觀察，實現在變溫和氣氛條件下的表面過程研究，在某些領域中顯示了不可替代的作用。
驗收委員會認為，該項目達到了項目任務書中規定的技術指標，全面完成了預定的研制任務，一致同意其通過驗收。
另據了解，“深紫外固態激光源前沿裝備研制項目”研制過程采用中科院國家重大科研裝備研制項目新型項目管理模式，由大連化學物理研究所各管理部門組成的項目管理工作組和項目實施工作組積極推進項目實施工作。這兩個項目的成功實施，為我國其他重大科學儀器的研制和發展提供了借鑒。