中科院大連化物所、大連華海制氫設(shè)備有限公司共同研發(fā)的金屬鈀復(fù)合膜氫氣純化裝置日前完成了200m3/h規(guī)模工業(yè)化示范。該技術(shù)徹底解決了多晶硅生產(chǎn)循環(huán)氫氣中痕量和超痕量雜質(zhì)難以去除的難題。
該技術(shù)是大連化物所在國(guó)內(nèi)外率先實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的專利技術(shù)，可應(yīng)用于我國(guó)幾十家多晶硅企業(yè)，對(duì)于推動(dòng)電子信息、半導(dǎo)體、LED照明和光伏發(fā)電等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要意義。
據(jù)了解，在多晶硅生產(chǎn)過程中，原料帶進(jìn)的各種超痕量金屬雜質(zhì)（ppb級(jí)）會(huì)在多晶硅上沉積，對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生很大影響，而傳統(tǒng)變壓吸附和深冷技術(shù)難以對(duì)這些痕量和超痕量雜質(zhì)進(jìn)一步脫除。金屬鈀復(fù)合膜則可以對(duì)這些雜質(zhì)進(jìn)行有效攔截，使得各種雜質(zhì)含量降低百倍以上，從而大大提高多晶硅產(chǎn)品純度和質(zhì)量。
現(xiàn)場(chǎng)示范結(jié)果還表明，通過對(duì)循環(huán)氫氣進(jìn)行純化，可使多晶硅質(zhì)量均達(dá)到電子級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。對(duì)于循環(huán)氫氣中含量有時(shí)會(huì)突然增大的甲烷或者氮?dú)猓摷兓b置可以不斷將其從體系中去除，使大循環(huán)體系的氫氣質(zhì)量得到明顯改善。采用其純化后的氫氣生產(chǎn)多晶硅，產(chǎn)品中金屬雜質(zhì)含量相對(duì)穩(wěn)定，表明該純化器可以為多晶硅穩(wěn)定生產(chǎn)發(fā)揮保障作用。