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組分非梯度KTN 熱釋電薄膜的制備及其性能研究

資料類型：

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關(guān)鍵詞：

組分非梯度 KTN 熱釋電薄膜制備性能

資料大小：

260K

所屬學(xué)科：

性能表征

來源：

來源網(wǎng)絡(luò)

簡介：

為使KTN熱釋電薄膜能夠在較寬的溫度范圍內(nèi)有較高的熱釋電系數(shù)，本文在Pt/Ti/SiO2/Si基片上采用Sol-Gel法制備了兩種多組分成分非梯度分布的KTN熱釋電薄膜。用XRD分析了薄膜的晶相結(jié)構(gòu)，并研究了其鐵電、介電和熱釋電性能。結(jié)果表明，兩種薄膜均具有鈣鈦礦型結(jié)構(gòu)，且均可觀察到典型的電滯回線。在100kHz頻率下，I型薄膜在16~43℃，εr=332，tgδ=0.21，14~46℃平均熱釋電系數(shù)為3.24610-4C/(cm2K)，計算所得FV=3.5810-7Ccm/J,Fd=1.4210-5Ccm/J。II型薄膜在17~46℃，εr=987，tgδ=0.18，14~44℃平均熱釋電系數(shù)為2.79710-4C/(cm2K)，電壓響應(yīng)優(yōu)值為1.0410-7Ccm/J,探測度優(yōu)值為7.6910-6Ccm/J。

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2007-07-12 16:37:59

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