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Al-Cu合金中θ相的價電子結(jié)構(gòu)分析

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關(guān)鍵詞：

Al-Cu合金 θ(Al2Cu) 電子結(jié)構(gòu) 熱穩(wěn)定性電遷移

資料大小：

258K

所屬學(xué)科：

結(jié)構(gòu)表征

來源：

來源網(wǎng)絡(luò)

簡介：

運用經(jīng)驗電子理論(EET)對Al-Cu合金薄膜析出相θ(Al2Cu)的價電子結(jié)構(gòu)進行計算。結(jié)果表明θ相中的Cu-Cu鍵最強，其次為Al-Cu鍵，它們的強度都比金屬Cu的最強Cu-Cu鍵要強。Al-Cu合金薄膜互連線的電遷移壽命與在基體晶粒中析出具有強的共價鍵絡(luò)的θ相緊密相關(guān)。θ相的析出提高了合金強度，延長了合金電遷移壽命。

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2007-07-13 14:54:00

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