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Si襯底上La0.8Sr0.2MnO3/SrMnO3雙層結構研究
Si襯底上La0.8Sr0.2MnO3/SrMnO3雙層結構研究
資料類型:
PDF文件
關鍵詞:
LSMO薄膜
SMO緩沖層
擇優取向生長
界面擴散
資料大小:
121K
所屬學科:
結構表征
來源:
來源網絡
簡介:
利用磁控濺射方法在Si(100)襯底上首先生長SrMnO3(SMO)作為緩沖層,再沉積La0.8Sr0.2MnO3(LSMO)薄膜,得到(110)面擇優生長的LSMO/SMO雙層結構。利用X射線衍射儀分析了SMO緩沖層的結構特征對LSMO薄膜擇優取向生長的影響;利用Rutherford背散射(RBS)分析了LSMO/SMO間的界面情況。結果表明:以SMO作為單一緩沖層時,不僅可以實現LSMO薄膜在Si(100)襯底上的(110)面的擇優生長,而且LSMO/SMO的界面擴散現象也不明顯。
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2007-07-17 11:09:13
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