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學術論文
> The Interfacial Engineering for the Fabrication of EpoxyMicrofluidic-photonic-integrated Devices on Glass Substrates
The Interfacial Engineering for the Fabrication of EpoxyMicrofluidic-photonic-integrated Devices on Glass Substrates
The Interfacial Engineering for the Fabrication of EpoxyMicrofluidic-photonic-integrated Devices on Glass Substrates
資料類型：
PDF文件
關鍵詞：
EpoxyMicrofluidic-photonic-integrated
Devices
資料大小：
319K
所屬學科：
分子表征
來源：
2009第四屆中歐增強高聚物工藝與性能國際學術會議（6.8-6.12，桂林）
簡介：
FabricatingepoxySU-8-basedmicrofluidicandphotonicdevicesonglasssubstrates,suchaspyrexwafers,hasproventobeverydifficult.Thereasonisthatitishardtocompletelyremoveresidualmaterialbetweenpatternedstructureswhileobtainingsufficientbondingofthestructurestothepyrexsurface..
作者：
THOMAS KOWPAK, BENJAMIN R. WATTS, SHIPING ZHU, CHANG-QING XUAND ZHIYI ZHANG
上傳時間：
2009-08-03 9:58:27
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