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乙醇對(duì)金剛石膜生長(zhǎng)特性的影響

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乙醇金剛石膜生長(zhǎng)速率刻蝕

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采用EA-CVD(ElectronAssistedChemicalVaporDeposition)方法制備金剛石厚膜，在反應(yīng)氣體（CH4+H2）中添加乙醇，在保持其它條件不變的情況下研究了不同乙醇流量對(duì)金剛石膜生長(zhǎng)的影響。利用拉曼光譜和SEM等測(cè)試方法對(duì)金剛石膜進(jìn)行了表征，證實(shí)乙醇電離時(shí)產(chǎn)生的氫氧鍵對(duì)金剛石有很強(qiáng)的刻蝕作用。在沉積過(guò)程中向系統(tǒng)中加入乙醇對(duì)金剛石膜表面形貌有顯著的影響，適量的乙醇有利于提高膜品質(zhì)和生長(zhǎng)速率，但過(guò)量的乙醇會(huì)導(dǎo)致對(duì)金剛石表面的刻蝕加劇，使金剛石膜的生長(zhǎng)受到抑制。

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2007-07-11 14:08:13

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