���{�Ƽ������c���2017����Ŀ���ָ�Ͻ��h
2016-08-03 ��Դ���Ї��ۺ���W
���^�m�����҇��ڼ{�Ƽ����H�����еă��ݣ����Ƅ����P�о��ɹ����D�����ã����ա��������L�ڿƼ��lչҎ���VҪ��2006-2020�������𣬸�������Ժ���P�������ؔ���Ƽ�Ӌ������헡�����ȣ������ĸ�ķ��������Ƽ��������������Ї��ƌWԺ�Ȳ��T�M�����Ҿ����ˡ��{�Ƽ������c��헌�ʩ������
���{�Ƽ������c��헵Ŀ��wĿ���ǫ@���ش�ԭʼ���º���Ҫ���óɹ���������������������о��ɹ��ć��HӰ��������������Ƀ����I������ȡ���ش�ͻ�ƣ���{�׳߶ȳ��߷ֱ�������g�����ͼ{����Ϣ�����c�������{����Դ�c�h�����g���{�Y�����ϵĹ��I�����ԡ����ͼ{��ˎ����аl�c�a�I���ȡ������҇��{�Ƽ��ڇ��H��̎�ڵ�һ��꠵�λ�ã���������Ҫ�����������I���ã����B���ɾ�����ҪӰ������I܊�˲ź͈Fꠣ��ӏ����A�о��c�����о���㕽ӣ����Ӻ�֧�����P�a�I�İlչ���ӿ���Ҽ��{�Ƽ����ЙC���̈́���朵Ľ��O���ƄӼ{�Ƽ��a�I�lչ���������P�о��͑���ʾ�����صİlչ��
���{�Ƽ������c��헌�����7��������о��΄գ�1.�{�ƌW�ش���A���}��2.���ͼ{���Ƃ��c�ӹ����g��3.�{�ױ����c�˜ʣ�4.�{�������tˎ��5.�{����Ϣ�����c������6.��Դ�{�ײ����c���g��7.�h���{�ײ����c���g��
2016�꣬�{�Ƽ����c��헇��@������Ҫ�΄գ������֧��43���о��Ŀ����������ƌW���Ŀ10헣���������헌�ʩ�����͡�ʮ���塱���g���P����2017�꣬�{�Ƽ����c��헌����@���ͼ{���Ƃ��c�ӹ����g���{�ױ����c�˜ʣ��{�������tˎ���{����Ϣ�����c��������Դ�{�ײ����c���g���h���{�ײ����c���g�ȷ����^�m�����Ŀ���M����֧��28���о�����ÿ������M֧��1��2���Ŀ����
����λᘌ���Ҫ֧�ַ��������Q�ش�ƌW���}��ͻ���P�I���g�M��һ�w���OӋ���M������Ŀ��ÿ���Ŀ��Ŀ��횸��wȫ������ָ�ˡ��Ą���@һ���ش�ƌW���}����Ҫ����Ŀ�ˣ��Ļ��A�о��������о�ȫ朗l�M���Ŀ���Ą����Ї��Ҍ���ҡ��������c����ҵ���Ҫ���л��ؽM���Ŀ��
�Ŀ������һ���5�ꡣһ���Ŀ���O�n�}��ԭ�t�ϲ����^4����ÿ���Ŀ������λ��������4���ԃȡ�
�M֧������ƌW���Ŀ�����^10�����΄տ����M�����^5000�fԪ������ƌW���Ŀ�Ʌ�����Ҫ֧�ַ���M���Ŀ��������о����ݺͿ���ָ�����ơ�
1. ���ͼ{�Y�������c���ܲ���
1.1 ���ͼ{�Y������
�о����ݣ��lչ���ͼ{���ٽY�����ϵĽY���OӋ���Ƃ�ԭ���c���g�����F�{���ٽY�����ϵĶ༉�������о������W���ܡ��������ܡ��Y�������Լ�ƣ�ڡ�ĥ�p�����g��ʹ���О飬�����{�Y��-�����Pϵ��̽���{���ٽY�����ϵĹ��I���á�
����ָ�ˣ����F�Y�������ߴ�<50 nm�ļ{���ٽY�����Ͽɿ��Ƃ�Ͷ༉�������g���о��OС�ߴ磨�����ߴ�<10 nm�����ٲ��ϵĽY��-�����Pϵ��׃���cʧЧҎ�ɣ�������������-����������֮�e���>30%��ƣ�ډ�����ĥ�p�ʷքe���10�������F2-4�N�{���ٽY���������S������I���õ��P�I���g��
1.2 �ЙC�{���ӌW���ϵĿɿؽM�b�c��������
�о����ݣ����й��_�P�����{�ơ������ϵ��ض����ӌW���ܵ��ЙC���w�{�ײ��ϵĿɿ��ԽM�b�������lչ���{�C�����V�ЙC�{������У��Լ��Y�����M�ɿɿصĴ���e���ӌW���������ļӹ����g��
����ָ�ˣ��ЙC�{�ײ��ϵĽY���c���ӌW���ܵĘ�Ч�Pϵ�����l�B�����W�^�̌����Ϲ��ӌW�О���{�ؙC�ƣ��ЙC�{�ײ��������Թ��Ӻ���Ӽ��������еđ��á��ЙC�{������еİl�䲨�L��400-800 nm�������{���ЙC����ּ����ֵ<60 nJ/(cm2·pulse)���ЙC�{늿ع��_�P푑��r�g<3 ns������_�P��������>10000���ЙC�{�ײ��ϵ��d�����w����>40 cm2/(V·s)��ͬ�r���ɹ����Ӯa��>50 %���ЙC���ӌW���������ߴ�>15 cm × 15 cm��
1.3 �{�ͺϲ����Ƃ估���û�
�о����ݣ����^�߶ȼ{�M�b�wϵ-�{�ͺϲ��ϵĿɿغ����Ƃ䷽���ͽM�bԭ�������挦���|��������ݔҎ�ɵ�Ӱ푣����^�߶ȼ{�Y����Ԫ���M�b�w�đ��ü��䷀�����c�������ܣ��lչ�����ڿ��g���g�I��ļ{�ͺϲ��ϡ�
����ָ�ˣ������{�ͺϲ������ܵČ��û��OӋ, �������ܿ��{�ĺ��^�߶ȼ{�ͺϲ��ϵĘ����c��Ч�Pϵ�����l��늴Ų��������Եij��ڱ���ͺ�Ϳ�ӣ�Ϳ�����X�Ͻ�Ȳ��ϱ��渽�����M��ISO�ȼ�1�����������ʡ�5%�����������������>99.5%���p�ٷ��������̖�����F���g��܉���͙z�y���Ƃ��������w������������õ��p�|���ߏ����ϣ����ܶ�<0.1 g/cm3���p�|�W����ĭ���Ͽɉ��s>50 %���Ҝ�����ϵ��<0.03 W/(m·K)��ȼ���ȼ��_���yȼ��ȼ��
1.4 ���w�����ЙC�댧�w�{���ܲ��ϵĿɿ��Ƃ��c�����{��
�о����ݣ��·f��ܗ�����ԽM�b��Ԫ���OӋ�ϳɣ��S���ɿء�����e���������ЙC�댧�w�{�Y�����ԽM�b�����ͼ��g���C�����܃������ЙC�댧�w�{�ײ��ϵĿɿ��Ƃ��c�{�أ����w�����ЙC�댧�w�{���ܲ���������������������е��P�I���g�о���
2.1 ���ͼ{�ײ��ϸ�Ч�Y�������c�����A�y
�о����ݣ��lչ��Ч��ȫ�ֽY���ͷ���·�������ь��Լ������u����Փ��Ӌ�㷽�������F�����ͼ{������ϡ���׃�{��ӛ���惦���ϡ��;S��������������ϵȵĽY�������L�C���������Լ����Եă����c�ʴ_�A�y��
����ָ�ˣ������������ڶ���1�ܣ�168С�r���������΄Ք����^100��1000�����ϼ{���wϵ�Ŀ��ٽY������׃·���A�y��ͬ�ڌ��F50�������wϵ�����Ԅ����W��Ч�u�����Y�x�A�y3�N�������Ϳ�Ҋ����ˮ����̼��Դ�D�������ϵĽY�������L�C���ͷ����ԣ��A�y2�N����������׃�{��ӛ�����A���ϡ��;S��������������ϵķ����Y�������L�C����
2.2 �η���������ԭλ���`���y�����g
�о����ݣ��߾��ʡ��߷����ԡ��߶ȼ��ɵĆη��Ӯ��|�Y�������������о��η��ӳ߶ȵ������������W�F�����{��Ҏ�ɡ�
����ָ�ˣ����F�η��Ӯ��|�Y�Ŀɿؾ��ʘ��죬�η���ˮƽ��W��늌W���ŌW�����|�ĸ��`���z�y�������y���`�������M������ӡ��ι��ӘO��ˮƽ�����F�{�뼉�r�g�ֱ��ʣ����F����ȴ���1000������/�_�P�ȣ����F1000���η�������������е���ʾ���c���ڵ�һ��ԭ������Փ�·����Y�ϣ����F늌W����W���ŌW��������η�������Ч�����{�أ����������з������ԵľC�Ϝy�����g��
2.3 �{��Ԫ�Y�����������������õĸ߷ֱ��V�W�������g
�о����ݣ��lչ�͑��ø߿��g�ֱ�͕r�g�ֱ�����W��늌W��W�y�����g����ԭ�Ӻͷ��ӳ߶����о��{�Y����Ԫ�Ďκ���ӽY����ԭ�Ӻͷ����g������������ü��^�̡�
����ָ�ˣ��چ��Iˮƽ�y��ԭ�ӡ��x�ӡ������g����������ã��_��ԭ�ӳ߶ȡ����gȡ��ֱ桢С��10Ƥţ���Ĝy�����ȣ���ʾ�M�b�wϵ�з����g�����������������|�� �_���{��Ԫ�Y�����cȱ�ݵ�ԭ����λ�������Լ���ӑB���������Fԭλ�w��r�g�ֱ���V�W�y����ԭ�ӽY���ֱ��늌W�����������ӳ߶ȵķ��B�ͼ��l�B̽�y�����F���Ӄ�늺ɡ�������܉���ֲ�����ʾ��ԭ�Ӵ������з��ӻ��W�I�ݻ��Ļ�Ԫ���E��
3. �{���t�W�\���·����c�{��ˎ������
3.1 ��ԭ�w�ļ{�יz�y���w���\���·���
�о����ݣ��ɹ�{�ײ��ϵ��Ƃ估�����{�أ��ɹ�{�ײ��Ϙ�ӛ�z�y���g�ͷ�������ԭ�w�������в��������ٙz�y����Ⱦ�C���о���
����ָ�ˣ�1-2�N���ڲ�ԭ�w���ٙz�y�ğɹ�{�ײ��ϵ�Ҏģ�����˼����Ƃ䷽�������F���ϻ��W�M�ɡ��ߴ硢�Y�����ܼ����������|���ɹ����|�����������|�������D�ƺ��S�w���ľ����{�أ����s�����Ʒ��1-2�N�ض���ԭ�w�z�y���g���z�y�`�����_���������w��ˮƽ��1-2�N��ԭ�w��Ⱦ�C���о��ĄӑBʾۙ������2-3�Nʹ�ü{�ײ��Ϙ�ӛ���R���z�yԇ����ԇ���С�
3.2 �{���g�ڐ����[�����ش��R���\���еđ���
�о����ݣ��lչ�R�����õ��g�з���Ӱ���g���аlᘌ������[������θ�������ٰ����ΰ������ش����\������g�ί��ļ{�ײ��ϡ�����Ӱ���g�c�b�䡣
����ָ�ˣ����������ж��ؽ��ٟo�C�{�ײ��Ϙ�ӛ�Ŀ��ٙz�y���g�ͷ�����ᘌ������[������θ�������ٰ����ΰ������ش������F���`�����߽M������ԭλ�z�y�͌��rʾۙ���`�����_���η��ӻ�μ���ˮƽ���lչ1-2�N��ȫ��Ч�Ľ��t��l��{�ײ��Ϻ������ķ���Ӱ��z�y���g�c�b�䣬�M���R������Ӱ���c���g������Ҫ���F�{���g�����w����Ӱ���c�R�����õ�ͻ�ơ�
3.3 �����[�������\����w��z�y�ü{�ײ��ϡ����������g
�о����ݣ��аlᘌ������[������ΰ������ٰ������ش������ڙz�y�ġ��������z���R��ѪҺ�c�wҺ�ȼ{�יz�y���g�ͷ������粶�@�c���x���������|�õļ{�ײ��ϡ����ص�����y�����������g��
����ָ�ˣ�ᘌ����y���к������ض�����������ѭ�h�[�������������F�ȣ�������С�w�������|������ȵęz�y�`�����_���μ�����η���ˮƽ���lչ1-2�N�������������{���x�z�y���¼��g���M���ش����ڙz�y�c�g��O�y�������[���D�ƙC���о��ȵ���������3-5�N���ü{�ײ��ϻ���������CFDA���ʵ��R���Ùz�yԇ����ԇ���С�
3.4 ���[�����ͼ{��ˎ�P�Ƃ��P�I���g
�о����ݣ�ᘌ����ٰ����R���ί��д��ڵ��D�ƺ���ˎ�ɴ��y�}�������[���خ������{���[���h��������[���D����̖ͨ·�Ȳ��ԣ����F�{��ˎ��[���D�ƺ���ˎ��Փ����ͻ�ƣ��_չ���[���{��ˎ���Ҏģ���Ƃ䡢�ھ��|�����ơ��Ƃ��^�̵��Ԅӻ��c���ܻ����Ƶ�ԭ�����P�I���g�о���
����ָ�ˣ�����ԭ���Կ����ٰ���ˎ��ļ{��ݔ�ͼ��g,��ʾ�{��ˎ��[���D�ƺ���ˎ������ԭ���c���әC�ƣ������Ԅӻ��c���ܻ����ƵĿ����{��ˎ��Ҏģ���Ƃ似�g���аl3�N����ע�伉�{�ײ��ϫ@�����a�S��, ���ü{���g���10���������xˎ��ij�ˎ�ԣ�1-2�N���п��[���D�ƻ���ˎ��Ч�ļ{����ˎ�@��CFDA�R��ԇ��S�ɡ�
3.5 �{�ײ����øЧ��������ѪҺϵ�y�����R���\���еđ���
�о����ݣ��OӋ�͘������ͼ{��ø���о�������Ч���cԭ�����lչ����������-߀ԭ�h���z�y�c�{�ص��¼��g���·������c�{��������к���Ѫ�M������ȼ��g��Y�ϣ��о�ѪҺϵ�y�ش����P�I���}�����Ѫ�����y�����c��ˎ�Եȣ��lչ�����Ͷ��ġ����w���m���w�Ȟ���A�ļ{�������\�����g�ͼ{���ø�\�����g��
����ָ�ˣ���ɼ{��ø����Ч����ϵ�y���Y�������{��ø�z�y���P���g�˜ʣ���ʾ1-2�N��Ѫϵ�y�ش����²�����ˎ�C�ƣ��@��2-3�N��CFDA���ʣ���Ͷ���R�����õļ{��ø�z�yԇ���У�1-2�N�{���\�����g�M���R��ǰ��
3.6 �{���g���[���h���{�ؼ����ͼ{��ˎ��
�о����ݣ�ᘌ�����Σ�������Đ����[�����e�Ǹΰ������ٰ������ٰ���Σ�����^�ߡ��h���������_���[����ͣ��о��{���g��ᘌ��[���h���{�أ������[�����Ա��ͺ���߯�Ч�ȷ���ęC�ƣ��Y���[���ľC���ί����lչ���ͼ{��ˎ���ˎ���d�w���ϡ�
����ָ�ˣ��\��������ӻ�����������Է��Ӿ����ԽM�b�ȼ��g���lչ���ͼ{��ˎ���ˎ���d�w�����������3-5�N�����[���h���{�صļ{���g���[���²��ԣ��lչ2-4�N�����{��ˎ���ڼ����ͻ��w�����ա��D�\�����x�C�ƺͰ�ȫ���u�r�Ą��·������@��2-3�N�����[���h���{�ء��[���C���ί�����ˎ�R����������ˎ�C����
4. �����ܼ{�������
4.1 ������x��Ԫ��Ч��-���D�Q�C����ԭ������
�о����ݣ�������x��Ԫ�{�Y���й����d���Ӯa�����{�ؙC�������ڹ�-�ᡢ��-늡���-�⡢��-��D�Q�еđ��ã��{�Y�������d��������Ч���������P�����Ϣ����ԭ��,�磺������������ݗ��������̽�y���ȣ����ù����d����ԭ�����мt���Դ��̽�y����ԭ�͡�
����ָ�ˣ��U��������x��Ԫ�����d���Ӯa�����{���^�̵ęC�������d������߹�-�ᡢ��-늡���-�⡢��-��D�QЧ�ʵ��·������¼��g���@�ó����V��400�{��20�ף�������ƽ��Ч�ʸ���95%�ļ{�Y�������������@��Ʒ�|���Ӹ���100��ݔ�������{�ط�������10 dB����ݗ����������Ч��ͻ�Ƃ��y���wݗ��Ч�ʵ��мt�⣨3��12�ף��{�Y��խ����ݗ���������ñ�����x��Ԫ�����d����ͻ�Ƃ��y�댧�w̽�y����������̽�y�O�ޣ���չ���мt�Ⲩ�Σ�3�����L���Σ��������d�����мt���Դ��̽�yԭ��������
4.2 �������{��������м����ϵ�y����
�о����ݣ��о������½Y�����²��ϵĸ��`������������Ϣ�{��������м�����ϵ�y���ɣ������������Է��ӵĸ����܂���������������ϵ�y�ش��z�y�\���c�{�ظ��A���ߕr�շֱ���w��������ʾ���ȡ�
����ָ�ˣ������{���w���߷��Ӽ{���ܱ�Ĥ����{��������Йz�y���������ڹ��_�P�{�M�b�w���g�Č��ض��������ʰ���Ĺ��{�ظ��A���������F���W��̖/�������̖���wͬ�����rӛ䛣��ĽM����Ƭ�����w�������������W�����z�y�c�{�ظ��A���P�I���g���z�y�ֱ����_���μ���ˮƽ���r�g�ֱ����_0.03 ms���l���C�Ƒ����о��Լ���λ�\�ࡢ���gҎ���R��ǰԇ�@��2�N���Ͽɽ�CFDA���ʵ��{�������{������ϵ�y��
4.3 X�侀������V�c����{������������
�о����ݣ�������ܹ��V�c����đ��������о����V�ֹ��{�غͳ�����λ�ֲ�������C�ƣ��OӋ�c���Ƹ߷ֱ�X�侀�u�������c���V�ֱ�ļ{���������о�X�侀ݗ�����������ʧЧ�C�����ӹ̷������_�lX�侀�������ԭ����Cϵ�y��
����ָ�ˣ�X�侀����{�������ľ��ܶȴ���6000��/mm���Y���ߌ��ȴ���300��������������100 eV-12 keV�������{�Y���z�y���Ҙ˜�1-2헡��������ֱ��ʃ���50 nm�����F�ɿصĜu����׃��һ�����Vɫ�ֱ��ʴ���20000�����F��ͬ��ݗ�䡢�����׃���I�����ʾ���á�
4.4 ���ܶȽ�����нY�������ʹ惦�����c����
�о����ݣ�������нY���惦����Ƕ��ʽ���ã��о������ܼ{���xͨ�������²��Ϻ��½Y�����톖�}���OӋ�c�аl�c�xͨ�ܼ��ݵĴ惦�Y�����о��c�˜�CMOS��ˇ���P�I���ɼ��g���_�l��һ��Ƕ��ʽ�惦оƬ��
����ָ�ˣ��{���xͨ������Ԫ�ߴ�С��0.036 ��m2�����������400 ��A, ©���С��50 pA��ƣ�����Դ���109, ���F�惦������128 Mb���ܶȴ惦оƬ���������W�Լ��Ƅ��Ԓ�ό��Fʾ�����á�
4.5 �{��߉�\������
�о����ݣ�����惦�cӋ���ںϵķ��T�Z����Ӌ��ܘ����о�ͻ�Ƃ��yCMOS�ƽ߉�ķǓ]�l߉������̽������CMOS���g�ķǓ]�l߉�²��ϡ��{�Y���ͼ��ɷ������о��Ǔ]�l߉���������{�ط����c����ʧ�Բ���߉�\��ԭ�������_�l��������Ϣ̎�����á�
����ָ�ˣ����Ƴ�CMOS���ݵ�С�ߴ磨��100 nm�������٣���100 ns�������ģ���1 pJ���Ǔ]�l߉���������16�N��������߉�����F�Ǔ]�l߉������CMOS�·��ϼ��ɵ�ģ�MӋ�����ԭ��оƬ�����зǓ]�l߉��������Ҏģ����4K��
4.6 �;S���|�Y���Ĵ��Ժ�ݔ�\���|�{�ؼ����{����
�о����ݣ��Ƃ��ٌӶ��S��Ӳ��Ϻ��ٌӴ��Բ��ϣ���ԭ�ӡ����ӌӴ��M�ж��S���ܲ��ϵĶѶ�M�b����������Ч���µĵ;S���Ԯ��|�Y�����OӋ�ϳɣ��ڏ��ň����о����Ե;S���|�{�Y���ı�����ԽY���Լ������W�О飻�о����-������ã�����-܉�����Ч���ڴ��Ե;S���|�{�Y���е����ã��Ƃ���д��Ե;S���|�{�Y�����{�������о�����Ժ�ݔ�\���|���lչ�����{�صĸ��w���������c��ܲ��ϵ��P�I���ü��g��
����Ŀ�ˣ����Ե;S���|�{�Y���ɿ��Ƃ似�g��������|�����昋������Ҏ�ɣ����F2-8�Ӷ��S���ϵľ��_�Ѷ⣬�Ѷ�Ƕȷֱ��ʡ�5�ȣ�λ�ƾ��ȡ�2�ף��Ƴɴ��Զ�ܮ��|�{�Y�����ϣ����F����1015-1016/cm3���d���ӝ�ȡ�����6 �� 103 cm2/(V·s)���w���ʵı����ݔ�\���|���U���T늉��{������w���ʡ�����ݔ�\�О顢���������ʵ��������|���������ӻ���Ч���������F���µ��������ԣ����Ե;S���|�{�Y���ڸ��w���������c���õ��P�I���g��
4.7 �{�Y�������ϼ��Ɍ������ٹ��L��оƬ
�о����ݣ��������{�Y���й����c��ӵ�������C�����о������漤����С����ߎ�������{��/���������������L���P�͵͓p��AWG·��������푑��ȸ��ٹ��̽�y����м��伯�ɼ��g���M��δ�����ܶȹ⼯�ɼ��g����ͻ�ƴ�̎�����������ݔ������Ӌ���еĔ����L�控�����ơ�
����ָ�ˣ����F��Ϣ����Ӽ��g�cCMOS���g�ĸ߶ȼ��ݣ�֧��DWDM�⻥�B�Ĺ��III-V��������16��С����100 Gbps���A�{�ƣ����ü���С����32·�������AWG���ã�����ã�ѭ�h��ַ����������ͻ�ƴ���Ϣ�L�扦�����F��·100 Gbps�Ĺ�����հl������1.6 Tbps�Ĺ�����֏��ü��ɹ����桢�_��51.2 Tbps�Ĕ�����������
5. ��Դ�D�Q�c�惦�{�ײ����c���g
5.1 ���W��Դ�D�Q���P�I�{�ײ����c����
�о����ݣ����ڷ��F���ٴ����Ļ��W���D�Q����ܵļ{���ܲ��ϼ����D�Q�^�̡����������W���D�Q�����c��������׃Ҏ�ɵȻ��A�ƌW���}����Ч̼���{�״����ϵ��OӋ�������ɿ��Ƃ似�g��������ɿع��ܻ�������������
����ָ�ˣ���̼���{�״����M�b�����ͻ��W��Դ�D�Q�����Ĺ����ܶȡ�1 W/cm2���;��ԡ�1000С�r�������D�QЧ�ʡ�50%��
5.2 ��Ч�ЙC�{�ױ�Ĥ������Ϻʹ���e�����Ƃ�
�о����ݣ��ЙC̫���늳��е��P�I�����Ƃ䣻��܌��еļ{�Y������/���������{�أ��������ЙC�{�ױ�Ĥ̫���늳����켼�g��
����ָ�ˣ��lչ����Ч���ЙC��������wϵ���lչ늳ض�܌Ӽ{�Y���c������ԵĿ��Ʒ����������܌Ӽ{�ױ�Ĥ̫���늳ؽY���c�����C������������ЙC�{�ױ�Ĥ̫���늳ع��Ч�ʺͷ����ԣ������늳�Ч��15%���������ˮƽ��С�ͽM��Ч���_�������늳�Ч��֮80%�����b�ط������_3�����ϣ������������F����ʾ����
5.3 ���ͻ��W��Դ�惦�ļ{�ײ��ϼ����wϵ
�о����ݣ����и������ܶȵ����ͻ��W��Դ�惦�����ļ{�ײ��ϵľ����OӋ�c�ɿغϳɣ��{��늘O���ϽY���c늳�����֮�g�ı����Pϵ��늳ز����ڳ����^���гɷֽY���Č��r�O�y�cԭλ�������g�������ܶȡ�ѭ�h��������ȫ�ԅfͬ�������ԡ�
����ָ�ˣ�ͨ�^�{���gȫ���������̓���늳صľC�����ܣ����Б��Ãrֵ�ĸ߱��������ͼ{��늘O���ϣ�����늳������ܶȡ�500 Wh/kg��ѭ�h������300�Σ��������O���ϱ�������300 mAh/g��
5.4 �߸���ֵ���������aƷ�Ķ���{�״������c���̻�
�о����ݣ��U��̼-���I��Ч�����c�ؽM�Ƹ߸���ֵ���������aƷ�Ķ���{�״��������ĵľ����Y����������ԭ�ӡ����ӌӴε����^�߶Ƚ�ʾ�{�״��������ĽY���c̼-���I��Ч�����c�ؽM֮�g�Ę�Ч�Pϵ�ͷ����C����ͻ�Ƽ{�״���Ҏģ���Ƃ似�g��������ԇ���Iʾ����
����ָ�ˣ�ͻ��̼-���I��Ч�����c�ؽM�Ƹ߸���ֵ���������aƷ�Ķ���{�״����Ļ��A��Փ�ͼ��gƿ�i���аl�{�״���Ҏģ���Ƃ乲�Լ��g��������Gɫ���a��ˇ���γɻ��A�о������g�_�l�����aʾ����ȫ朗l���g��Q����������5-8�N�¶���{�״���������4-6�N�߸���ֵ�����Ҿoȱ�ľ��������aƷ���Ҷ���������ϩ����������u����ͪ�ȵĹ��Iʾ���b�á�
5.5 ���������D�Q�ļ{�ײ��ϼ�����
�о����ݣ������{���Y���������D�Q�C�ƣ��{���ĽY�����M�ɵȌ���Դ�D�QЧ�ʵ�Ӱ푣�һ�w����Դ�D�Q�����ļ����c���b���˹�������ü��}��l늵��I��đ���ʾ����
����ָ�ˣ���ʾ�����x��ͨ����Ч�����D�Q�ęC�ƣ��аl�m����ͬ��������ļ{�Y����Ԫ����{����������{���Y��Ĥ���ϣ��{��Ĥ���ϵĹ����ܶȡ�5 W/m2���{��Ĥ���������D�Q�wϵ�������ı����·��������������D�Q�^�����x�ӂ�ݔ�ĄӑB�^�̣��{���Y��һ�w���������D�Q������С���˹�������������ʹ����}��l늵Įa�Iʾ����
6. �h���{�ײ����c��������
6.1 ���������ЙC��Ⱦ����c��Ч�ޏ͵ļ{�ײ����c���g
�о����ݣ������r�������ЙC��Ⱦ��غ��ЙC��Ⱦ����������Ч�ޏ͵ļ{�ײ����c���g��
����ָ�ˣ��аl�������̶������������е����ЙC��Ⱦ��������r�������շe�۵����͌��ù��ܼ{�ײ��ϣ���ʾ��Ⱦ��������-�r����ϵ�y���w�Ʒe�۵Ľ����^�̼���ؙC�ƣ��аl����ȥ�������������ЙC��Ⱦ������͌��ù��ܼ{�ײ��Ϻ�һ�w���ޏͼ��g��̽�����ܼ{�ײ����������е��w���D���^���c�������BЧ�����γ�����헿Ɍ��û����g�����Fʾ�����á�
6.2 ���ڵ�����Ⱦ��z�y�ļ{�ײ����c���g
�о����ݣ����ڭh���к����־����ж���Ⱦ��z�y��������e�ļ{�ײ����c���g�����ڸ�Σ�U�ЙC���WƷ�z�y�Ĺ��ܻ��{�ײ����c�����`����м��g��
����ָ�ˣ��lչ�h���к����־����ж���Ⱦ��ı��Ӳɘӡ����x�������F���z�y��������e�ļ{���g�c�b�ã��z�y������1 ppb���аl����ˮ�w�����־����ж���Ⱦ���ͨ���Y��ļ{�ײ����c���g���аl�ɿ��١�ͬ�r�z�y�����ؽ��ٺ��ЙC��Ⱦ��ļ���ʽ�{���������аl���ڱ�ը�܊�¶����ȸ�Σ�U�ЙC���WƷ�ij����`�����c�x���Ե�ԭλ�����ټ{�יz�y���g���U����ͬĿ�����c�{�ײ��ϵ������ԭ�����z�y�C�ƣ���������{�ײ��ϼ��������������a�����F�挍�h����Ŀ����Ⱦ��z�y��ʾ�����á�
6.3 �����r�����ˮ����Ⱦ�����̎���ļ{�ײ����c���g
�о����ݣ������r�����ˮ�����ж���Ⱦ�����̎���ļ{�ײ����c���g
����ָ�ˣ��аl�����r�����ˮ�����ж���Ⱦ���Ч�����c����߀ԭ�����ļ{�ײ����c���g���U��Ŀ����Ⱦ���c�{�ײ��ϱ�/���������ÙC���������C�ƣ���ʾ�{�ײ��ϵĘ�-Ч�Pϵԭ�����γ�2����ϵČ��û����g���r�����ˮ��ȃ����C��̎�������������F���͵^�r�����ˮ����ʾ�����ã���ˮˮ�|�_�����ҡ��������ˮ�l���˜ʡ��ĸ��ָ�ˡ�
���ߣ�ꐌWԪ
���{�Ƽ������c��헵Ŀ��wĿ���ǫ@���ش�ԭʼ���º���Ҫ���óɹ���������������������о��ɹ��ć��HӰ��������������Ƀ����I������ȡ���ش�ͻ�ƣ���{�׳߶ȳ��߷ֱ�������g�����ͼ{����Ϣ�����c�������{����Դ�c�h�����g���{�Y�����ϵĹ��I�����ԡ����ͼ{��ˎ����аl�c�a�I���ȡ������҇��{�Ƽ��ڇ��H��̎�ڵ�һ��꠵�λ�ã���������Ҫ�����������I���ã����B���ɾ�����ҪӰ������I܊�˲ź͈Fꠣ��ӏ����A�о��c�����о���㕽ӣ����Ӻ�֧�����P�a�I�İlչ���ӿ���Ҽ��{�Ƽ����ЙC���̈́���朵Ľ��O���ƄӼ{�Ƽ��a�I�lչ���������P�о��͑���ʾ�����صİlչ��
���{�Ƽ������c��헌�����7��������о��΄գ�1.�{�ƌW�ش���A���}��2.���ͼ{���Ƃ��c�ӹ����g��3.�{�ױ����c�˜ʣ�4.�{�������tˎ��5.�{����Ϣ�����c������6.��Դ�{�ײ����c���g��7.�h���{�ײ����c���g��
2016�꣬�{�Ƽ����c��헇��@������Ҫ�΄գ������֧��43���о��Ŀ����������ƌW���Ŀ10헣���������헌�ʩ�����͡�ʮ���塱���g���P����2017�꣬�{�Ƽ����c��헌����@���ͼ{���Ƃ��c�ӹ����g���{�ױ����c�˜ʣ��{�������tˎ���{����Ϣ�����c��������Դ�{�ײ����c���g���h���{�ײ����c���g�ȷ����^�m�����Ŀ���M����֧��28���о�����ÿ������M֧��1��2���Ŀ����
����λᘌ���Ҫ֧�ַ��������Q�ش�ƌW���}��ͻ���P�I���g�M��һ�w���OӋ���M������Ŀ��ÿ���Ŀ��Ŀ��횸��wȫ������ָ�ˡ��Ą���@һ���ش�ƌW���}����Ҫ����Ŀ�ˣ��Ļ��A�о��������о�ȫ朗l�M���Ŀ���Ą����Ї��Ҍ���ҡ��������c����ҵ���Ҫ���л��ؽM���Ŀ��
�Ŀ������һ���5�ꡣһ���Ŀ���O�n�}��ԭ�t�ϲ����^4����ÿ���Ŀ������λ��������4���ԃȡ�
�M֧������ƌW���Ŀ�����^10�����΄տ����M�����^5000�fԪ������ƌW���Ŀ�Ʌ�����Ҫ֧�ַ���M���Ŀ��������о����ݺͿ���ָ�����ơ�
1. ���ͼ{�Y�������c���ܲ���
1.1 ���ͼ{�Y������
�о����ݣ��lչ���ͼ{���ٽY�����ϵĽY���OӋ���Ƃ�ԭ���c���g�����F�{���ٽY�����ϵĶ༉�������о������W���ܡ��������ܡ��Y�������Լ�ƣ�ڡ�ĥ�p�����g��ʹ���О飬�����{�Y��-�����Pϵ��̽���{���ٽY�����ϵĹ��I���á�
����ָ�ˣ����F�Y�������ߴ�<50 nm�ļ{���ٽY�����Ͽɿ��Ƃ�Ͷ༉�������g���о��OС�ߴ磨�����ߴ�<10 nm�����ٲ��ϵĽY��-�����Pϵ��׃���cʧЧҎ�ɣ�������������-����������֮�e���>30%��ƣ�ډ�����ĥ�p�ʷքe���10�������F2-4�N�{���ٽY���������S������I���õ��P�I���g��
1.2 �ЙC�{���ӌW���ϵĿɿؽM�b�c��������
�о����ݣ����й��_�P�����{�ơ������ϵ��ض����ӌW���ܵ��ЙC���w�{�ײ��ϵĿɿ��ԽM�b�������lչ���{�C�����V�ЙC�{������У��Լ��Y�����M�ɿɿصĴ���e���ӌW���������ļӹ����g��
����ָ�ˣ��ЙC�{�ײ��ϵĽY���c���ӌW���ܵĘ�Ч�Pϵ�����l�B�����W�^�̌����Ϲ��ӌW�О���{�ؙC�ƣ��ЙC�{�ײ��������Թ��Ӻ���Ӽ��������еđ��á��ЙC�{������еİl�䲨�L��400-800 nm�������{���ЙC����ּ����ֵ<60 nJ/(cm2·pulse)���ЙC�{늿ع��_�P푑��r�g<3 ns������_�P��������>10000���ЙC�{�ײ��ϵ��d�����w����>40 cm2/(V·s)��ͬ�r���ɹ����Ӯa��>50 %���ЙC���ӌW���������ߴ�>15 cm × 15 cm��
1.3 �{�ͺϲ����Ƃ估���û�
�о����ݣ����^�߶ȼ{�M�b�wϵ-�{�ͺϲ��ϵĿɿغ����Ƃ䷽���ͽM�bԭ�������挦���|��������ݔҎ�ɵ�Ӱ푣����^�߶ȼ{�Y����Ԫ���M�b�w�đ��ü��䷀�����c�������ܣ��lչ�����ڿ��g���g�I��ļ{�ͺϲ��ϡ�
����ָ�ˣ������{�ͺϲ������ܵČ��û��OӋ, �������ܿ��{�ĺ��^�߶ȼ{�ͺϲ��ϵĘ����c��Ч�Pϵ�����l��늴Ų��������Եij��ڱ���ͺ�Ϳ�ӣ�Ϳ�����X�Ͻ�Ȳ��ϱ��渽�����M��ISO�ȼ�1�����������ʡ�5%�����������������>99.5%���p�ٷ��������̖�����F���g��܉���͙z�y���Ƃ��������w������������õ��p�|���ߏ����ϣ����ܶ�<0.1 g/cm3���p�|�W����ĭ���Ͽɉ��s>50 %���Ҝ�����ϵ��<0.03 W/(m·K)��ȼ���ȼ��_���yȼ��ȼ��
1.4 ���w�����ЙC�댧�w�{���ܲ��ϵĿɿ��Ƃ��c�����{��
�о����ݣ��·f��ܗ�����ԽM�b��Ԫ���OӋ�ϳɣ��S���ɿء�����e���������ЙC�댧�w�{�Y�����ԽM�b�����ͼ��g���C�����܃������ЙC�댧�w�{�ײ��ϵĿɿ��Ƃ��c�{�أ����w�����ЙC�댧�w�{���ܲ���������������������е��P�I���g�о���
����ָ�ˣ����w�����ЙC�댧�w�{���ܲ��ϵ��OӋ�c�ϳɷ������{���ЙC�{���ܲ��ϵİ댧�w���ܵļ��g���C�����܃����Ŀ�Ѩ�w����>50 cm2/(V·s)��p-�Ͱ댧�w������w����>15 cm2/(V·s)��n-�Ͱ댧�w���Լ���Ѩ�w����>5.0 cm2/(V·s)������w����>5.0 cm2/(V·s)���p�O���ЙC�댧�w�{���ܲ��ϣ��ЙC�댧�w��Ч�������ļ��ɼ��g���伯���������d�����w����> 3.0 cm2/(V·s)��
2.1 ���ͼ{�ײ��ϸ�Ч�Y�������c�����A�y
�о����ݣ��lչ��Ч��ȫ�ֽY���ͷ���·�������ь��Լ������u����Փ��Ӌ�㷽�������F�����ͼ{������ϡ���׃�{��ӛ���惦���ϡ��;S��������������ϵȵĽY�������L�C���������Լ����Եă����c�ʴ_�A�y��
����ָ�ˣ������������ڶ���1�ܣ�168С�r���������΄Ք����^100��1000�����ϼ{���wϵ�Ŀ��ٽY������׃·���A�y��ͬ�ڌ��F50�������wϵ�����Ԅ����W��Ч�u�����Y�x�A�y3�N�������Ϳ�Ҋ����ˮ����̼��Դ�D�������ϵĽY�������L�C���ͷ����ԣ��A�y2�N����������׃�{��ӛ�����A���ϡ��;S��������������ϵķ����Y�������L�C����
2.2 �η���������ԭλ���`���y�����g
�о����ݣ��߾��ʡ��߷����ԡ��߶ȼ��ɵĆη��Ӯ��|�Y�������������о��η��ӳ߶ȵ������������W�F�����{��Ҏ�ɡ�
����ָ�ˣ����F�η��Ӯ��|�Y�Ŀɿؾ��ʘ��죬�η���ˮƽ��W��늌W���ŌW�����|�ĸ��`���z�y�������y���`�������M������ӡ��ι��ӘO��ˮƽ�����F�{�뼉�r�g�ֱ��ʣ����F����ȴ���1000������/�_�P�ȣ����F1000���η�������������е���ʾ���c���ڵ�һ��ԭ������Փ�·����Y�ϣ����F늌W����W���ŌW��������η�������Ч�����{�أ����������з������ԵľC�Ϝy�����g��
2.3 �{��Ԫ�Y�����������������õĸ߷ֱ��V�W�������g
�о����ݣ��lչ�͑��ø߿��g�ֱ�͕r�g�ֱ�����W��늌W��W�y�����g����ԭ�Ӻͷ��ӳ߶����о��{�Y����Ԫ�Ďκ���ӽY����ԭ�Ӻͷ����g������������ü��^�̡�
����ָ�ˣ��چ��Iˮƽ�y��ԭ�ӡ��x�ӡ������g����������ã��_��ԭ�ӳ߶ȡ����gȡ��ֱ桢С��10Ƥţ���Ĝy�����ȣ���ʾ�M�b�wϵ�з����g�����������������|�� �_���{��Ԫ�Y�����cȱ�ݵ�ԭ����λ�������Լ���ӑB���������Fԭλ�w��r�g�ֱ���V�W�y����ԭ�ӽY���ֱ��늌W�����������ӳ߶ȵķ��B�ͼ��l�B̽�y�����F���Ӄ�늺ɡ�������܉���ֲ�����ʾ��ԭ�Ӵ������з��ӻ��W�I�ݻ��Ļ�Ԫ���E��
3. �{���t�W�\���·����c�{��ˎ������
3.1 ��ԭ�w�ļ{�יz�y���w���\���·���
�о����ݣ��ɹ�{�ײ��ϵ��Ƃ估�����{�أ��ɹ�{�ײ��Ϙ�ӛ�z�y���g�ͷ�������ԭ�w�������в��������ٙz�y����Ⱦ�C���о���
����ָ�ˣ�1-2�N���ڲ�ԭ�w���ٙz�y�ğɹ�{�ײ��ϵ�Ҏģ�����˼����Ƃ䷽�������F���ϻ��W�M�ɡ��ߴ硢�Y�����ܼ����������|���ɹ����|�����������|�������D�ƺ��S�w���ľ����{�أ����s�����Ʒ��1-2�N�ض���ԭ�w�z�y���g���z�y�`�����_���������w��ˮƽ��1-2�N��ԭ�w��Ⱦ�C���о��ĄӑBʾۙ������2-3�Nʹ�ü{�ײ��Ϙ�ӛ���R���z�yԇ����ԇ���С�
3.2 �{���g�ڐ����[�����ش��R���\���еđ���
�о����ݣ��lչ�R�����õ��g�з���Ӱ���g���аlᘌ������[������θ�������ٰ����ΰ������ش����\������g�ί��ļ{�ײ��ϡ�����Ӱ���g�c�b�䡣
����ָ�ˣ����������ж��ؽ��ٟo�C�{�ײ��Ϙ�ӛ�Ŀ��ٙz�y���g�ͷ�����ᘌ������[������θ�������ٰ����ΰ������ش������F���`�����߽M������ԭλ�z�y�͌��rʾۙ���`�����_���η��ӻ�μ���ˮƽ���lչ1-2�N��ȫ��Ч�Ľ��t��l��{�ײ��Ϻ������ķ���Ӱ��z�y���g�c�b�䣬�M���R������Ӱ���c���g������Ҫ���F�{���g�����w����Ӱ���c�R�����õ�ͻ�ơ�
3.3 �����[�������\����w��z�y�ü{�ײ��ϡ����������g
�о����ݣ��аlᘌ������[������ΰ������ٰ������ش������ڙz�y�ġ��������z���R��ѪҺ�c�wҺ�ȼ{�יz�y���g�ͷ������粶�@�c���x���������|�õļ{�ײ��ϡ����ص�����y�����������g��
����ָ�ˣ�ᘌ����y���к������ض�����������ѭ�h�[�������������F�ȣ�������С�w�������|������ȵęz�y�`�����_���μ�����η���ˮƽ���lչ1-2�N�������������{���x�z�y���¼��g���M���ش����ڙz�y�c�g��O�y�������[���D�ƙC���о��ȵ���������3-5�N���ü{�ײ��ϻ���������CFDA���ʵ��R���Ùz�yԇ����ԇ���С�
3.4 ���[�����ͼ{��ˎ�P�Ƃ��P�I���g
�о����ݣ�ᘌ����ٰ����R���ί��д��ڵ��D�ƺ���ˎ�ɴ��y�}�������[���خ������{���[���h��������[���D����̖ͨ·�Ȳ��ԣ����F�{��ˎ��[���D�ƺ���ˎ��Փ����ͻ�ƣ��_չ���[���{��ˎ���Ҏģ���Ƃ䡢�ھ��|�����ơ��Ƃ��^�̵��Ԅӻ��c���ܻ����Ƶ�ԭ�����P�I���g�о���
����ָ�ˣ�����ԭ���Կ����ٰ���ˎ��ļ{��ݔ�ͼ��g,��ʾ�{��ˎ��[���D�ƺ���ˎ������ԭ���c���әC�ƣ������Ԅӻ��c���ܻ����ƵĿ����{��ˎ��Ҏģ���Ƃ似�g���аl3�N����ע�伉�{�ײ��ϫ@�����a�S��, ���ü{���g���10���������xˎ��ij�ˎ�ԣ�1-2�N���п��[���D�ƻ���ˎ��Ч�ļ{����ˎ�@��CFDA�R��ԇ��S�ɡ�
3.5 �{�ײ����øЧ��������ѪҺϵ�y�����R���\���еđ���
�о����ݣ��OӋ�͘������ͼ{��ø���о�������Ч���cԭ�����lչ����������-߀ԭ�h���z�y�c�{�ص��¼��g���·������c�{��������к���Ѫ�M������ȼ��g��Y�ϣ��о�ѪҺϵ�y�ش����P�I���}�����Ѫ�����y�����c��ˎ�Եȣ��lչ�����Ͷ��ġ����w���m���w�Ȟ���A�ļ{�������\�����g�ͼ{���ø�\�����g��
����ָ�ˣ���ɼ{��ø����Ч����ϵ�y���Y�������{��ø�z�y���P���g�˜ʣ���ʾ1-2�N��Ѫϵ�y�ش����²�����ˎ�C�ƣ��@��2-3�N��CFDA���ʣ���Ͷ���R�����õļ{��ø�z�yԇ���У�1-2�N�{���\�����g�M���R��ǰ��
3.6 �{���g���[���h���{�ؼ����ͼ{��ˎ��
�о����ݣ�ᘌ�����Σ�������Đ����[�����e�Ǹΰ������ٰ������ٰ���Σ�����^�ߡ��h���������_���[����ͣ��о��{���g��ᘌ��[���h���{�أ������[�����Ա��ͺ���߯�Ч�ȷ���ęC�ƣ��Y���[���ľC���ί����lչ���ͼ{��ˎ���ˎ���d�w���ϡ�
����ָ�ˣ��\��������ӻ�����������Է��Ӿ����ԽM�b�ȼ��g���lչ���ͼ{��ˎ���ˎ���d�w�����������3-5�N�����[���h���{�صļ{���g���[���²��ԣ��lչ2-4�N�����{��ˎ���ڼ����ͻ��w�����ա��D�\�����x�C�ƺͰ�ȫ���u�r�Ą��·������@��2-3�N�����[���h���{�ء��[���C���ί�����ˎ�R����������ˎ�C����
4. �����ܼ{�������
4.1 ������x��Ԫ��Ч��-���D�Q�C����ԭ������
�о����ݣ�������x��Ԫ�{�Y���й����d���Ӯa�����{�ؙC�������ڹ�-�ᡢ��-늡���-�⡢��-��D�Q�еđ��ã��{�Y�������d��������Ч���������P�����Ϣ����ԭ��,�磺������������ݗ��������̽�y���ȣ����ù����d����ԭ�����мt���Դ��̽�y����ԭ�͡�
����ָ�ˣ��U��������x��Ԫ�����d���Ӯa�����{���^�̵ęC�������d������߹�-�ᡢ��-늡���-�⡢��-��D�QЧ�ʵ��·������¼��g���@�ó����V��400�{��20�ף�������ƽ��Ч�ʸ���95%�ļ{�Y�������������@��Ʒ�|���Ӹ���100��ݔ�������{�ط�������10 dB����ݗ����������Ч��ͻ�Ƃ��y���wݗ��Ч�ʵ��мt�⣨3��12�ף��{�Y��խ����ݗ���������ñ�����x��Ԫ�����d����ͻ�Ƃ��y�댧�w̽�y����������̽�y�O�ޣ���չ���мt�Ⲩ�Σ�3�����L���Σ��������d�����мt���Դ��̽�yԭ��������
4.2 �������{��������м����ϵ�y����
�о����ݣ��о������½Y�����²��ϵĸ��`������������Ϣ�{��������м�����ϵ�y���ɣ������������Է��ӵĸ����܂���������������ϵ�y�ش��z�y�\���c�{�ظ��A���ߕr�շֱ���w��������ʾ���ȡ�
����ָ�ˣ������{���w���߷��Ӽ{���ܱ�Ĥ����{��������Йz�y���������ڹ��_�P�{�M�b�w���g�Č��ض��������ʰ���Ĺ��{�ظ��A���������F���W��̖/�������̖���wͬ�����rӛ䛣��ĽM����Ƭ�����w�������������W�����z�y�c�{�ظ��A���P�I���g���z�y�ֱ����_���μ���ˮƽ���r�g�ֱ����_0.03 ms���l���C�Ƒ����о��Լ���λ�\�ࡢ���gҎ���R��ǰԇ�@��2�N���Ͽɽ�CFDA���ʵ��{�������{������ϵ�y��
4.3 X�侀������V�c����{������������
�о����ݣ�������ܹ��V�c����đ��������о����V�ֹ��{�غͳ�����λ�ֲ�������C�ƣ��OӋ�c���Ƹ߷ֱ�X�侀�u�������c���V�ֱ�ļ{���������о�X�侀ݗ�����������ʧЧ�C�����ӹ̷������_�lX�侀�������ԭ����Cϵ�y��
����ָ�ˣ�X�侀����{�������ľ��ܶȴ���6000��/mm���Y���ߌ��ȴ���300��������������100 eV-12 keV�������{�Y���z�y���Ҙ˜�1-2헡��������ֱ��ʃ���50 nm�����F�ɿصĜu����׃��һ�����Vɫ�ֱ��ʴ���20000�����F��ͬ��ݗ�䡢�����׃���I�����ʾ���á�
4.4 ���ܶȽ�����нY�������ʹ惦�����c����
�о����ݣ�������нY���惦����Ƕ��ʽ���ã��о������ܼ{���xͨ�������²��Ϻ��½Y�����톖�}���OӋ�c�аl�c�xͨ�ܼ��ݵĴ惦�Y�����о��c�˜�CMOS��ˇ���P�I���ɼ��g���_�l��һ��Ƕ��ʽ�惦оƬ��
����ָ�ˣ��{���xͨ������Ԫ�ߴ�С��0.036 ��m2�����������400 ��A, ©���С��50 pA��ƣ�����Դ���109, ���F�惦������128 Mb���ܶȴ惦оƬ���������W�Լ��Ƅ��Ԓ�ό��Fʾ�����á�
4.5 �{��߉�\������
�о����ݣ�����惦�cӋ���ںϵķ��T�Z����Ӌ��ܘ����о�ͻ�Ƃ��yCMOS�ƽ߉�ķǓ]�l߉������̽������CMOS���g�ķǓ]�l߉�²��ϡ��{�Y���ͼ��ɷ������о��Ǔ]�l߉���������{�ط����c����ʧ�Բ���߉�\��ԭ�������_�l��������Ϣ̎�����á�
����ָ�ˣ����Ƴ�CMOS���ݵ�С�ߴ磨��100 nm�������٣���100 ns�������ģ���1 pJ���Ǔ]�l߉���������16�N��������߉�����F�Ǔ]�l߉������CMOS�·��ϼ��ɵ�ģ�MӋ�����ԭ��оƬ�����зǓ]�l߉��������Ҏģ����4K��
4.6 �;S���|�Y���Ĵ��Ժ�ݔ�\���|�{�ؼ����{����
�о����ݣ��Ƃ��ٌӶ��S��Ӳ��Ϻ��ٌӴ��Բ��ϣ���ԭ�ӡ����ӌӴ��M�ж��S���ܲ��ϵĶѶ�M�b����������Ч���µĵ;S���Ԯ��|�Y�����OӋ�ϳɣ��ڏ��ň����о����Ե;S���|�{�Y���ı�����ԽY���Լ������W�О飻�о����-������ã�����-܉�����Ч���ڴ��Ե;S���|�{�Y���е����ã��Ƃ���д��Ե;S���|�{�Y�����{�������о�����Ժ�ݔ�\���|���lչ�����{�صĸ��w���������c��ܲ��ϵ��P�I���ü��g��
����Ŀ�ˣ����Ե;S���|�{�Y���ɿ��Ƃ似�g��������|�����昋������Ҏ�ɣ����F2-8�Ӷ��S���ϵľ��_�Ѷ⣬�Ѷ�Ƕȷֱ��ʡ�5�ȣ�λ�ƾ��ȡ�2�ף��Ƴɴ��Զ�ܮ��|�{�Y�����ϣ����F����1015-1016/cm3���d���ӝ�ȡ�����6 �� 103 cm2/(V·s)���w���ʵı����ݔ�\���|���U���T늉��{������w���ʡ�����ݔ�\�О顢���������ʵ��������|���������ӻ���Ч���������F���µ��������ԣ����Ե;S���|�{�Y���ڸ��w���������c���õ��P�I���g��
4.7 �{�Y�������ϼ��Ɍ������ٹ��L��оƬ
�о����ݣ��������{�Y���й����c��ӵ�������C�����о������漤����С����ߎ�������{��/���������������L���P�͵͓p��AWG·��������푑��ȸ��ٹ��̽�y����м��伯�ɼ��g���M��δ�����ܶȹ⼯�ɼ��g����ͻ�ƴ�̎�����������ݔ������Ӌ���еĔ����L�控�����ơ�
����ָ�ˣ����F��Ϣ����Ӽ��g�cCMOS���g�ĸ߶ȼ��ݣ�֧��DWDM�⻥�B�Ĺ��III-V��������16��С����100 Gbps���A�{�ƣ����ü���С����32·�������AWG���ã�����ã�ѭ�h��ַ����������ͻ�ƴ���Ϣ�L�扦�����F��·100 Gbps�Ĺ�����հl������1.6 Tbps�Ĺ�����֏��ü��ɹ����桢�_��51.2 Tbps�Ĕ�����������
5. ��Դ�D�Q�c�惦�{�ײ����c���g
5.1 ���W��Դ�D�Q���P�I�{�ײ����c����
�о����ݣ����ڷ��F���ٴ����Ļ��W���D�Q����ܵļ{���ܲ��ϼ����D�Q�^�̡����������W���D�Q�����c��������׃Ҏ�ɵȻ��A�ƌW���}����Ч̼���{�״����ϵ��OӋ�������ɿ��Ƃ似�g��������ɿع��ܻ�������������
����ָ�ˣ���̼���{�״����M�b�����ͻ��W��Դ�D�Q�����Ĺ����ܶȡ�1 W/cm2���;��ԡ�1000С�r�������D�QЧ�ʡ�50%��
5.2 ��Ч�ЙC�{�ױ�Ĥ������Ϻʹ���e�����Ƃ�
�о����ݣ��ЙC̫���늳��е��P�I�����Ƃ䣻��܌��еļ{�Y������/���������{�أ��������ЙC�{�ױ�Ĥ̫���늳����켼�g��
����ָ�ˣ��lչ����Ч���ЙC��������wϵ���lչ늳ض�܌Ӽ{�Y���c������ԵĿ��Ʒ����������܌Ӽ{�ױ�Ĥ̫���늳ؽY���c�����C������������ЙC�{�ױ�Ĥ̫���늳ع��Ч�ʺͷ����ԣ������늳�Ч��15%���������ˮƽ��С�ͽM��Ч���_�������늳�Ч��֮80%�����b�ط������_3�����ϣ������������F����ʾ����
5.3 ���ͻ��W��Դ�惦�ļ{�ײ��ϼ����wϵ
�о����ݣ����и������ܶȵ����ͻ��W��Դ�惦�����ļ{�ײ��ϵľ����OӋ�c�ɿغϳɣ��{��늘O���ϽY���c늳�����֮�g�ı����Pϵ��늳ز����ڳ����^���гɷֽY���Č��r�O�y�cԭλ�������g�������ܶȡ�ѭ�h��������ȫ�ԅfͬ�������ԡ�
����ָ�ˣ�ͨ�^�{���gȫ���������̓���늳صľC�����ܣ����Б��Ãrֵ�ĸ߱��������ͼ{��늘O���ϣ�����늳������ܶȡ�500 Wh/kg��ѭ�h������300�Σ��������O���ϱ�������300 mAh/g��
5.4 �߸���ֵ���������aƷ�Ķ���{�״������c���̻�
�о����ݣ��U��̼-���I��Ч�����c�ؽM�Ƹ߸���ֵ���������aƷ�Ķ���{�״��������ĵľ����Y����������ԭ�ӡ����ӌӴε����^�߶Ƚ�ʾ�{�״��������ĽY���c̼-���I��Ч�����c�ؽM֮�g�Ę�Ч�Pϵ�ͷ����C����ͻ�Ƽ{�״���Ҏģ���Ƃ似�g��������ԇ���Iʾ����
����ָ�ˣ�ͻ��̼-���I��Ч�����c�ؽM�Ƹ߸���ֵ���������aƷ�Ķ���{�״����Ļ��A��Փ�ͼ��gƿ�i���аl�{�״���Ҏģ���Ƃ乲�Լ��g��������Gɫ���a��ˇ���γɻ��A�о������g�_�l�����aʾ����ȫ朗l���g��Q����������5-8�N�¶���{�״���������4-6�N�߸���ֵ�����Ҿoȱ�ľ��������aƷ���Ҷ���������ϩ����������u����ͪ�ȵĹ��Iʾ���b�á�
5.5 ���������D�Q�ļ{�ײ��ϼ�����
�о����ݣ������{���Y���������D�Q�C�ƣ��{���ĽY�����M�ɵȌ���Դ�D�QЧ�ʵ�Ӱ푣�һ�w����Դ�D�Q�����ļ����c���b���˹�������ü��}��l늵��I��đ���ʾ����
����ָ�ˣ���ʾ�����x��ͨ����Ч�����D�Q�ęC�ƣ��аl�m����ͬ��������ļ{�Y����Ԫ����{����������{���Y��Ĥ���ϣ��{��Ĥ���ϵĹ����ܶȡ�5 W/m2���{��Ĥ���������D�Q�wϵ�������ı����·��������������D�Q�^�����x�ӂ�ݔ�ĄӑB�^�̣��{���Y��һ�w���������D�Q������С���˹�������������ʹ����}��l늵Įa�Iʾ����
6. �h���{�ײ����c��������
6.1 ���������ЙC��Ⱦ����c��Ч�ޏ͵ļ{�ײ����c���g
�о����ݣ������r�������ЙC��Ⱦ��غ��ЙC��Ⱦ����������Ч�ޏ͵ļ{�ײ����c���g��
����ָ�ˣ��аl�������̶������������е����ЙC��Ⱦ��������r�������շe�۵����͌��ù��ܼ{�ײ��ϣ���ʾ��Ⱦ��������-�r����ϵ�y���w�Ʒe�۵Ľ����^�̼���ؙC�ƣ��аl����ȥ�������������ЙC��Ⱦ������͌��ù��ܼ{�ײ��Ϻ�һ�w���ޏͼ��g��̽�����ܼ{�ײ����������е��w���D���^���c�������BЧ�����γ�����헿Ɍ��û����g�����Fʾ�����á�
6.2 ���ڵ�����Ⱦ��z�y�ļ{�ײ����c���g
�о����ݣ����ڭh���к����־����ж���Ⱦ��z�y��������e�ļ{�ײ����c���g�����ڸ�Σ�U�ЙC���WƷ�z�y�Ĺ��ܻ��{�ײ����c�����`����м��g��
����ָ�ˣ��lչ�h���к����־����ж���Ⱦ��ı��Ӳɘӡ����x�������F���z�y��������e�ļ{���g�c�b�ã��z�y������1 ppb���аl����ˮ�w�����־����ж���Ⱦ���ͨ���Y��ļ{�ײ����c���g���аl�ɿ��١�ͬ�r�z�y�����ؽ��ٺ��ЙC��Ⱦ��ļ���ʽ�{���������аl���ڱ�ը�܊�¶����ȸ�Σ�U�ЙC���WƷ�ij����`�����c�x���Ե�ԭλ�����ټ{�יz�y���g���U����ͬĿ�����c�{�ײ��ϵ������ԭ�����z�y�C�ƣ���������{�ײ��ϼ��������������a�����F�挍�h����Ŀ����Ⱦ��z�y��ʾ�����á�
6.3 �����r�����ˮ����Ⱦ�����̎���ļ{�ײ����c���g
�о����ݣ������r�����ˮ�����ж���Ⱦ�����̎���ļ{�ײ����c���g
����ָ�ˣ��аl�����r�����ˮ�����ж���Ⱦ���Ч�����c����߀ԭ�����ļ{�ײ����c���g���U��Ŀ����Ⱦ���c�{�ײ��ϱ�/���������ÙC���������C�ƣ���ʾ�{�ײ��ϵĘ�-Ч�Pϵԭ�����γ�2����ϵČ��û����g���r�����ˮ��ȃ����C��̎�������������F���͵^�r�����ˮ����ʾ�����ã���ˮˮ�|�_�����ҡ��������ˮ�l���˜ʡ��ĸ��ָ�ˡ�
���ߣ�ꐌWԪ
����c��؟�������W퓵ă������Ї��ۺ���W�ռ����W�ϰl������Ϣ�����@�á�Ŀ�����ڂ��f��Ϣ��������������ζ��ٝͬ���^�c���C�����挍�ԣ�Ҳ�������������h���H�ṩ����ƽ�_����������ؓ؟�����漰�֙࣬Ոϵ�҂����r�Ļ�h�����]�䣺[email protected]��δ�����Wͬ�ⲻ��ȫ���D�d��ժ��������������ʽʹ��������Ʒ��
��؟�ξ���xu��
���P��
- �V�|���۰Ĵ^���Ҽ{�Ƽ������о�Ժ��Ƹ��Ϣ | �߷��ӡ����όW�����ϼӹ������W�����������P���I 2021-08-05
- �Ƽ�������8.29���{�Ƽ��������c����u���������Σ� 2020-08-29
- �Ƽ�������8.27�ա��{�Ƽ��������c����u���������Σ� 2020-08-27
- �Ƽ��������������c�аlӋ�������c���A���ϼ��g�����c�a�I�������c����u������ 2020-08-18
- 2020��������c�����݆�u���������ι���7����헣�199�����ң� 2020-06-28
- �Ƽ����l����һ������� �� �Gɫ�������� �� ���c������ָ��������Ҋ 2020-06-08