�۶��������飨polydimethylsiloxane,PDMS����������õęCе���ܡ���W���ܡ����W�����Ժ���������ԣ������ڼӹ����͡��r�������������ѳɞ錍����Ƃ�����оƬ�����x���ϡ��e����������Ȳ��Ķ���ӾW�j���SС���Ӵ���ʹ��PDMS�ڌ����w������С���ӽ��Q������ļ������B�����оƬ��оƬ������Ó�f������Ȼ����������ԕ�����С���ӵ��������Uɢ��ˮ�����l���ҬF�еı�����Է����؏��ʵ͡������Բ����̎����PDMS�o�����������x���w�I�ό��FоƬ�M�b������_�l������С���������͔Uɢ���܉�������x���w�I�ϼ��ݵ�PDMS��Ч������Է����@�����P��Ҫ��
������W��Ϣ�ƌW���g�WԺ����/�{�ӹ����g���Ҽ����c��������|�������n�}�M������þی����ױ���Parylene���ڻ��W������e��chemical vapor deposition,CVD���^���Ќ�PDMS�M�б�����ԣ��õ��m�ڵ�С���ӔUɢ������оƬ���õ�pcPDMS���ی����ױ����]�۶��������飬Parylene-caulked PDMS������ʿ�о�����ҦƼͨ�^�{��PDMS�r�לضȣ����F��Parylene��PDMS�r�ĝB�룬�ұ���H��u�����L���Ķ��@���c�����x���w�I�ϼ��ݵ�pcPDMS��ԓ헻��ڟ��r��Parylene���W������e��Thermal Chemical Vapor Deposition,t-CVD����PDMS���Է������з����Ժá���ˇ�؏��Ժõă��c����������̎����׃���Ե،��F��PDMS���Ժ��c�����x���w�I�ϵļ����ԣ����θ�Ч�،��FоƬ�ĽM�b�����P�о��ɹ��ԡ����þی����ױ��ļӟữ�W������e���]PDMS���ӾW�j����Caulking polydimethylsiloxane molecular network by thermal chemical vapor deposition of parylene-C�����}����2016��10�³�����оƬ����ҡ���Lab on a Chip�����ա�
���|�n�}�M��2010���ԁ��������о�PDMS������Է��������������t�W�I��ȵđ��ã�ϵ���о��ɹ���m�l���ڡ�оƬ����ҡ����������w����Biomicrofluidics�����I����Ҫ�ڿ�������Α���������늚���ӹ��̎��W���C�ϵ�y�����IEEE MEMS�����I��피����H���h�����ɹ�չʾ��
���Ϲ��������|�n�}�M�c���A��W���캽�ՌWԺ���GƼ�����n�}�M������ɣ��õ�������Ȼ�ƌW���𡢇������c���A�о��lչӋ������973Ӌ��������������W�t�W-��Ϣ�����I������о��N�ӻ����֧�֣���PDMS�����Ч�����Լ����͏ͺϲ��ϵ��_�l�ȷ��������Ҫ���x��
- ��ƴ�������� ACHM������x��Һ�w����BN늈�ȡ����²��� - ���F�����z�ͺϲ��ό����������� 2025-12-15
- ����W�����h���ڈF� AFM���־õ��p���ԝ��p��Ϳ���x�貣��99.5%�ij������� 2025-07-08
- �������܊μ/�����i�F� Angew�������ߌ���Һ���۶���������������� 2025-01-22
- ���ݴ�W���L��Ժʿ������̫���ڈFꠡ�Adv. Sci.����������Եij�֦���������������Ƃ���t������푑������Կɴ�����׃������ 2023-07-04
- ����������W���i�w���ڡ�ACS AMI��: ��ʾ������Ԍ�̼�w�S/�h����֬�ͺϲ��ϘO�����ܵ�Ӱ푙C�� 2022-10-01
- �����־�����ڈFꠡ�Macromolecules��ǰհ�C�����ۺ�����xĤ�ı����湤�� - ���ں�̎��·�ںη��� 2022-04-29