国内精品国产三级国产在线专_欧美日韩在线播放一区二区_成人xxxx视频_欧美激情视频一区_色女人综合av_久久久亚洲影院_久久久久久九九_成人免费网站在线_日韩美女毛茸茸_狠狠干一区二区

  �����Џ��ԑ�׃�ܵĴ惦��ጷż���Cе��������Ȼ�͹��̙Cе��ϵ�y��������Ҫ���ã�����ؓ؟������ٺ͸߄����\�ӵ�����M���Լ������ܵ�΢/�{�C�ϵ�y��MEMS / NEMS���C�������„����� �S�����d���gҲȡ�Q�ڙCе�܃����ጷŵ���Чʹ�ã����������Դϵ�y�����ڙC�����\�Ӻ��\�ӵ����켡�⡣ ����ģ����R������λ��J / m3��������׃���_ʼ֮ǰ�y������ʾ��λ�w�e�IJ����Ѓ��揗�ԑ�׃�ܵ������� ��R��R����˜ʻ���R��Rs��Ҳ����Ҫ�ęCе�OӋ�����������λ�����ď��ԑ�׃����������������λ����J / m3��/��kg/m3��= J /kg���������ھ��ԏ��Թ��w�Ы@��������R����Ҫ�����еĸ��������ȣ���y���͵͗���ģ����E�������ǹ����@�ӵĦ�y -E�M�Ϻ��y���������ɷN���|ͨ��һ��������

  ���ڣ����Կ����Ҹ��W��Chang-Yong Nam��Keith J. Dusoe������Nano Lett. �ϰl����һƪ�}�顰Ultrahigh Elastic Strain Energy Storage in Metal-Oxide-Infiltrated Patterned Hybrid Polymer Nanocomposites�������¡�ԓ�о��˷����������}����ͨ�^���صĦ�y��E�ͦѽM�ρ����Ɏ��D�����s���{�׏ͺϲ��ϣ�ͨ�^�B�m�B͸�ϳɣ���ԭ���������ЙC-�o�C�s�����g�����F����R�͸ߏ���Rs�ӳ��e��ALD������ͬ�ڵ��͵�ALD��ˇ������ه���r���ϵĚ�Bǰ�w�����ޱ��淴�����B͸�ϳ����Sǰ�w�B͸���ۺ���ģ�������γ�Ƕ�����ЙC���|�ȵğo�C���ϡ��@�N���͵ļ{�׏ͺϲ����ѱ��C�������������ۺ���ĸ��N���������W���ܣ������Cе���ȡ�

�D1 �ϳɼ{�׏ͺϲ���SU-8�{������ʾ��D��������

��a��ͨ�^�B͸�ϳ�����AlOx�B͸�s���{�׏ͺϲ���SU-8�{������ʾ��D��

��b��AlOx�B͸SU-8�{��������ɫ������ϵ�ԭλ�{�����W�yԇ��˵�SEM�@΢��Ƭ���͆΂��{�׏ͺ�SU-8�{��������D���ķŴ�D��

��c��SU-8�Ĵ����ԑ��� - ��׃������

��d������e��������ʩ�ӵ�AlOx�B͸�ϳ�ѭ�h�Δ����y��SU-8�{�����Ħ�y��E��

�D2  ���иߙCе���Ե����ԈD

��a���޸ĵď����cE Ashby�D��

��b������300 nmֱ����SU-8�{���������������Σ���Ӌ���R��������ʩ�ӵ�AlOx�B͸�ϳ�ѭ�h�Δ���

�D3  SU-8��Ĥ���@΢��Ƭ

��a����16��AlOx�B͸�ϳ�ѭ�h֮��“��SU-8��Ĥ�ęM��������TEM�@΢��Ƭ���҈D�@ʾAlK��EDXS���������档

��b��SU-8��Ĥ��AlOx�B�벿�ֵĸ߷ֱ�������TEM�@΢��Ƭ�����Ϸ��@ʾ�Ǿ����܌ӵķŴ�D��

��c��ͨ�^ԭλQCM�y���@�õ�������AlOx�B͸�ϳ�ѭ�h�Δ����|���������ԡ�

�D4  AlOx�B͸SU-8�{���������W����

��a�������N��ͬλ�������£�16��ѭ�h��AlOx�B͸��SU-8�{�����y���ĉ��s��׃ - ����������

��b����16��ѭ�h��AlOx�B͸��SU-8�{�����ĉ��s��׃��ж�d���gԭλ�@�õĕr�g���ŵ�ҕ�l����

��c��SU-8�{������ѭ�h���Լ��d/ж�d������g���y���đ�׃/�����c�r�g������

�D5 �ͺϲ��ϵė���ģ��

��AlOx�B͸��SU-8�{�����У��ͺϲ��ϵė���ģ���cAlOx�����ϵ��w�e�֔��ĺ����Pϵ�D�Լ������cHalpin-Tsai��Hashin-Shtrikmanģ�͵ı��^��

�D6 �ͺϲ��ϵăȲ����켰�ߏ��ԙC��

�ڛ]�ЙCе�������󣩣����s���ԑ������У��ͻ֏���׃����r�£���a��δ�B͸�Ľ�“SU-8�ͣ�b��AlOx�B͸��SU-8�ۺ�����|�ăȲ��Y����ʾ��D��

  �о��ˆT��������͵��ЙC-�o�C�s���{�׏ͺϲ��ϣ�ͨ�^�����B͸���ӳ߶ȵ�AlOx�����M��ƽ��ӡˢ��SU-8�ۺ���ģ�塣ԭλ�{�����W�yԇ�������@�N�����ѽ����F�˽��٘Ӹߦ�y��> 500 MPa������ĭ�ӵ�E��<10 GPa�����@����֪�Ĺ��̲����Ъ��ص���ϣ�����������һ�N��ߵď��ԃ���ጷ������c�ߏ�����Y�ϣ��ȵ��͹��̸߳��s4���������Ͻ� ���⣬�Ԃ��y�댧�w�ӹ�����ALD���Ͷ๦�ܹ�̈D���ԵĿɔUչ��ʩ�����������_�l�ľۺ���{�׏ͺϲ��ϴ��_���µļ{�יCе���ã������ڿ��{���ߙCе���Է��档

  Փ��朽ӣ�http://pubs.acs.org/doi/10.1021/acs.nanolett.7b03238