Ŀǰ�Ї��Ŀ��е�Փ�ĵĔ����ѽ��_���������һ���M���҂����ش�ĿƌW�l�F��ͻ���Եļ��g���棬߀���l�_���Ҵ����ஔ�ľ��x�����Ǐĺ����ڿ�Փ�Ĕ���������v���ѽ�������ڶ��ˡ��Č����ĽǶ��������һ�����Ƽ��ɹ��D���ʘO�ͣ��c�Ј�����Ó����������Ո�Č�������֮���w���r�����Ј���ȡ�Ì��H�rֵ�ġ�
�Ї���У�Č�����Ո�����ѽ��h�����������У�����A��W������Ո����˹̹����W��11��������������15�����Ї���������У������Ո����Ҳͬ���@�ˣ�����ʡ�������K���������@�ӵ�����피��о��Դ�Wÿ��Č�����Ո��߀�����Ї�һ���I���g�WԺ���cһЩ�Ї���211/985��У���Dz���һ����������
Ȼ�����@Щ���������O�ٵ�����피��Уÿ���܉�ĿƼ��ɹ��D���Ы@�Ô�ǧ�f��Ԫ�����루����˹̹����W2015��2016��ȫ@���S�������9422�f��Ԫ�������ܷ�����ʮ�ҿƼ���������I�����Ї���У�ĿƼ��ɹ��D�����뷴�^�����ˎׂ�����������У���I���Ą��IҲ�����x���̘Iģʽ���µ��I�����������ڌWУ�e�۵Ŀ��гɹ���
�P���{������ʿ�ͺ��m���K���������WԺ���K������W���Ճ��ߴ�W����ɣ�����WԺ���������������W��������������W���R�D��W��������W�����а������������W����ɣ�����WԺ�ļ��g�ɹ��D��������ã��WУ����I�����dz��o�ܣ��ܶ�������ُ���I�����аl����ֱ�ӽ���У�@�����ֲ���У�@�c��I�о����ġ�
�������������W������1956�꣬��һ�����^���p�Ĵ�W���ij���һ�_ʼ��ԓУ���������c���ظ߿Ƽ���I�M�к����������WУ�Ĺ����ˆTЦ�Q���҂���Ӗ��I�Ĺ��̎�����I��Ӗ�҂��Ľ��ڣ���Ҋ�@����W�c��I������ϵ��
������Ҵ�W����֮�����ò���40��ġ��̕r�g��Ѹ�ٳɞ�����һ����W��2017��̩��ʿ��ȫ���W�����l���ġ�ȫ��25���c������I������o�ܴ�W����������Ҵ�W������һ�����������c��I������o�ܵĴ�W���ڸ��N�汾������һ����W�����У�������Ҵ�W�Č����ֶ���ȫ�����50-100��֮�g��
������Ҵ�W�ijɹ��������䪚�ص�����������_��ʽ�о��Ϳ��гɹ��Ј����C�ơ�
ԓУ�O��14������о�����Һ�40��С�Č���ң����еČ���Ҷ����ԆΪ������M�к�����ÿ������Ҷ��Ќ������ϵ�˺ͳɹ��D����ؓ؟�ˡ�
�@Щ���СС�Č�����c��ʮ�ҿƼ���I�����˺����о����ģ�ֱ�Ӆ��c��������I�Ļ��A�о��У�����ASML�����ƣ��w���֣�GE��NXP��У�����о����ı鲼У�@��
GE�t�����@�������
�����@Щ��ĺ����о�����֮�⣬��������Ҷ��c�����I�����˺����о��C�ƣ�����˾���Ѹ��N�о��Oʩ�ᵽ�˸�������ң�����̫��܌���Ҿ��cECN��IMEC��Solliance��FEI��Levitech, Meyer-Burger��Oc����Philips��Toyota����I�c�C���M�к�����
�@ô����IԸ���c������Ҵ�W��Ⱥ�����һ�������ڴ�W�ۺ�Ŀ��Ќ�������һ������Ҫ����W�����гɹ��Ěw�ٷdz��_�ţ���I���ԫ@���������Ļ؈����������о����Ľ�����@Щ��I������ͻ���Ի��A�������_500�������WУ�ں����Ы@�õČ�������ֻ��60����������Ҵ�W��Ҫ��ּ�������B�˲źͽ�Q�������ĿƌW���}�����c�WУ�������^�̣���呟��ˌWУ���ώ��͌W����Ҳ��WУ����ǰ�ؿƼ����˽�������}�ṩֱ�ӵ�ƽ�_��
���ˌ���������n�}֮�⣬�WУ���о��ˆTҲ�����Լ���Ո�n�}���WУ�O���������о�֧�־W�j���������𡢼��g�����ա�֪�R�a���I��Ȍ��I��ʿ�������P�n�}�ṩȫ��λ�Ľ��h�������e���n�}����ϵ�ⲿ��������P�I���У�хf����
���ڎ������ÌWУ���Լ��Ŀ��гɹ����I���WУҲ�Ƿe�O�Ą�ṩ����ȫ�̵ı�ķʽ���ա����ˌWУ���������о�֧�־W�j֮�⣬��ÿ������Ҷ��Ў����Ƽ��ɹ��D���Ĺ����ˆT��ؓ؟���Һ��xȡ����֧�֣����ɺ�֪�R�a����ա����P��֧���ˆT��ͨ�^�����Ƹ��ͨ����Ƹ��һ�������������ڿ����I���\������֪�R�a������ˆT��
�WУ�Ą�����k֪�R�ܼ�����I���������ÌWУ��֪�R�a�����ȫ�������I���WУ���o��֧�֣�ᘌ�ÿ���I��Ą��I�ṩ���P�Ļ����o���������ڿƼ��I��o�����P�Č���ָ�������ڲ�����I�o��o�����������һ�_ʼ�ijɹ����o���Ƽ��ɹ��D����������˾�������Y��֧�ֶ��o��һ�l���ķ��ա�Ŀǰ�WУ�ѽ��a��150�ұ��^�ɹ��ĿƼ��̈́��I��I��ÿ����30���³����ĿƼ��̈́��I��˾��
�@�ӵ��w��֮�£��WУ�@��ԴԴ����Č�������C�����ώ��͌W�����õ���呟���ÿ���ܮa��������ԭ���Ժ�ͻ���Գɹ���Ҳ��Ƽ��ˆT���I�ͿƼ��ɹ��D���ṩ�˺ܺõ�ƽ�_�������ˆT��ȫ�������Լ����о���
- �Ƽ��������x������ˆT�տƼ��ɹ����Й���L��ʹ�Ù�ԇ�c��λ���Ρ��l�� 2020-10-20
- �����������ڶ����ߵȌWУ�Ƽ��ɹ��D���ͼ��g�D�ƻ����J������ 2020-09-10
- �Ƽ�����9���Tӡ�l���x������ˆT�տƼ��ɹ����Й���L��ʹ�Ù�ԇ�c��ʩ������ 2020-05-18
- �Ї��Ƽ��ɹ��D��2019��Ȉ����t�� 2020-05-14
- �Ƽ�������2025�겼�ֽ��O���ɇ��Ҽ��g�������� 2020-03-26
- �����ڴ��ġ������д��M�Ƽ��ɹ��D���l������������1��1������ʩ 2019-11-29