�n�}�M����
��(d��o)�����飺
������ʿ������ǧ����Ƹ���ң���(f��)����W(xu��)�߷��ӿƌW(xu��)ϵ���ۺ�����ӹ��̇������c(di��n)��(sh��)�(y��n)�ң���������ʿ����(d��o)�������Ļ������ɻ��ۺϺͻ�����x�Ӿۺϵ����(q��)��Sawamoto��������������Akron��W(xu��)�߷���ϵ�����ݲ�������W(xu��)���W(xu��)ϵ�������P(gu��n)�����w�ɿؾۺϵ��о��ɹ�����������Ľ̿ƕ����������������ړ����S���Įa(ch��n)�I(y��)��(j��ng)�(y��n)���e����Һ�ۺ����댧(d��o)�w��̲��ϵ��аl(f��)��(j��ng)�(y��n)�����������_�T��˹��˾���F(xi��n)�����ϻ��W(xu��)��˾�����о��T������Ӣ�ؠ���˾���ϲ��T�����ܣ��|����(y��ng)�û��W(xu��)��˾Fellow��
��Ҫ�о��I(l��ng)���У�
������һ���댧(d��o)�w�Ƴ��õĹ�̲������e��10 nm���·ֱ��ʲ��ϵ��O(sh��)Ӌ(j��)�ϳɼ���(y��ng)�����n�}�M�ܵ����Ҽ���I(y��)�Ĵ���֧�����о���(j��ng)�M(f��i)���㣬�������ƵĹ�̲��ϵĺϳ������������ܜyԇƽ�_��Ŀǰ�ѽ�(j��ng)������5 nm~ 10 nm�߷ֱ��ʵľۺ���{�ײ�����
�n�}�M��퓣� http://www.polymer.fudan.edu.cn/polymer/research/denghai/
�n�}��������
�댧(d��o)�w���������P(gu��n)�I�IJ����ǹ���z���ж�߷ֱ��ʵĹ���z���������С���������^ȥ��50���(n��i)���댧(d��o)�w�a(ch��n)�I(y��)һֱ����Moore��s lawǰ����Intel���_�e늺�������Ӷ����M(j��n)����7 nm�ֱ��ʵ�EUV��̹�ˇ�������ܿ��M(j��n)�����a(ch��n)���挦�댧(d��o)�wоƬ�I(l��ng)�����С����������ܶȷ���l(f��)չ��څ������һ�� 10~5 nm �댧(d��o)�w�Ƴ̵Ĺ�̼��g(sh��)�Ͳ����ѳɞ�ȫ��댧(d��o)�w�ИI(y��)���аl(f��)���c(di��n)��
Ŀǰ����(n��i)�İ댧(d��o)�w��ˇ�аl(f��)Ҳ�M(j��n)����14 nm�Ƴ̣�����(n��i)ֻ�����a(ch��n)�Ͷ˵�i-����̲��ϣ�����30��ǰ�Įa(ch��n)Ʒ��������(n��i)�ĸ߶˹���z�a(ch��n)�I(y��)��̎�ڿհנ�B(t��i)�����е�90 nm~ 14 nm�Ƴ��õĹ�̲�����ȫ�����ձ��M(j��n)����
��һ��10 nm�����°댧(d��o)�w���������EUVL��DSA��̲�����Ŀǰ���������ձ���I(y��)���Ŕ������˲��������������҇������аl(f��)̽��10�{�����µ���һ����̲��ρ������˼��g(sh��)�ډ�����(sh��)�F(xi��n)������܇��Ŀǰ���M���аl(f��)��������������ԽM�b����5 nm���߷ֱ��ʵ�DSA������ԓ�ɹ��Ѱl(f��)����SPIE��������늅f(xi��)�����ȇ��H���h�����ܵ��V�����u�����˸��õر��o(h��)���M֪�R�a(ch��n)��(qu��n)��Ŀǰ����Ո�������Ї����������������P(gu��n)Փ����������֮����
��Ƹ����Ҫ��
���ڿ��й�����Ҫ�����n�}�M��Ƹ��ʿ���о��T1��2�����M(j��n)��10�{�����µ���һ����̲��ϵ��о������wҪ�����£�
1�������ЙC(j��)��������Ϥϩ�N�ۺ���ï���ٴ��ۺϵIJ�ʿ�������P(gu��n)�ϳ��о�������(j��ng)�(y��n)�IJ�ʿ����(y��ng)�õĻ����й�����(j��ng)�(y��n)�ģ���
2���������õ�Ӣ����x�͌����������ܿ��ٲ�������īI(xi��n)���Ѱl(f��)���^���P(gu��n)�I(l��ng)��Ӣ��Փ�ġ�
3����Ҫ����һ����ָ��(d��o)�W(xu��)�����������������I(l��ng)���x�ĴTʿ����ʿ���M(j��n)���(xi��ng)Ŀ���P(gu��n)�����w���е؎��I(l��ng)�F(tu��n)�(du��)�аl(f��)�����͵ĸ߷ֱ���DSA����EUV��̲�����
4. �Ը��_�ʣ��Ђ�(g��)��������������w���ۺ�����
�I(y��)Ҏ(gu��)������
���n�}�M�c����(n��i)���֪����I(y��)�ЏV���ĺ��������Ԟ���x���ṩδ���I(y��)�l(f��)չ��֧�������ԃ�(y��u)�����]�o���ϻ��W(xu��)���Ϻ���ꖰ댧(d��o)�w����о���H�ȹ�˾��
��(g��)�˴���
�n�}�M�����x���ṩ��(y��u)Խ�Ŀ��Зl���ͷ�(w��n)����֧�֣����Տ�(f��)����W(xu��)���P(gu��n)��ʿ���Ҏ(gu��)���ṩ����(y��ng)��(g��)�˴������n�}�M����(j��)�о��M(j��n)չ��ؕ�I(xi��n)�o���a(b��)�N����н18�f��ס������(f��)����W(xu��)����(j��)��Ո��Ҫ�����ṩ�W(xu��)У����һ�һ����ס�������s���Ј��r(ji��)��һ�롣
��(y��ng)Ƹ��Ո����
Ո��(y��ng)Ƹ�ߌ���Ո���ϣ����v�ʹ���Փ��ȫ�ģ��l(f��)��[email protected]��
��Ƹ�r(sh��)�g
��Ո�r(sh��)�g��2018��9~11����
- ��(f��)����W(xu��)������� Adv. Sci.����늈��{(di��o)�ع�ܗ�߷��ӹ������M(j��n)�d���ӂ�ݔ 2026-01-19
- ��(f��)����W(xu��)�ï�n�}�M Nat. Commun.����ؽ��湲���Ƃ�߽Y(ji��)����ECTFE��������Բ��� 2025-12-17
- ��(f��)����W(xu��)�ï�n�}�M Angew��������ָ�y - �C(j��)���W(xu��)��(x��)�c�����{(di��o)��֮�� 2025-10-31
- �пƴ���Ƙ�������������/�T�� JACS ����朾������x�ܭh(hu��n)ϩ�N�ۺ��COPs���������� 2026-03-01
- �ؑc�������P�/��������������w��������ƪ Adv. Mater. �B�m(x��)��(b��o)��COP�ڸߜ����еđ�(y��ng)�� 2025-10-17
- ����W(xu��)������ڈF(tu��n)�(du��) CEJ����ܷ����h(hu��n)ϩ�N�ۺ��� - ��Ч�ϳ������ܾ���(zh��n)�{(di��o)�ؼ����ڹ�W(xu��)�c����ˮ�����ǰ�ؑ�(y��ng)�� 2025-09-22
- ��h������W(xu��)���������c(di��n)��(sh��)�(y��n)���������ڈF(tu��n)�(du��)��Ƹ��ʿ�������̎� - �����������߷��Ӳ������^�V���x���������Ĥ���� 2026-02-24
�\���P(gu��n)ע�߷��ӿƼ�
- �n�}�M�ڡ�Nature Communica...
- �n�}�M���ջ��W(xu��)�����W(xu��)�����c...
- ף�R�x���������ˬ������...
- ף�RԬʢ��ͬ�W(xu��)�����±�Desa...
- �����ܽ��ڰl(f��)��Փ�ģ�Energy...
- �n�}�M���P(gu��n)�p����������ӻ�...
- ��2026-03���n�}�MͨӍՓ��...
- �n�}�M��ٷ����ڮ�(d��ng)�x����H...
- ��2026���N��(li��n)��ӭ�R��
- 2023����ʿ����������������...
- ��2026.02.03���n�笓ͬ�W(xu��)Փ...
- ������/���f/�Y�� JACS���l(f��)...
- ��ɽ��W(xu��)��־�x�����w�����...
- ���������������ֈF(tu��n)�(du��) Angew...
- �Ϻ�����/��������(sh��)�(y��n)��...
- ���t(y��)��һ��Ժʢ�������/�A...
- �пƴ���Ƙ�������������/...
- �����������/������������...
- �㹤��������/�~��Ҋ�n�}�M ...
- ��������-��־�F(tu��n)�(du��) AFM �C��...
- �|�ϴ�W(xu��)��������ڈF(tu��n)�(du��) Nat...
- ���ݴ�W(xu��)Ҧ����/κ��/����Ӱ...