2��8�գ��������ҿƌWԺ�l����ᘌ������о��ĵ�����ʮ���{�顶�����о�ǰ�أ�ʮ���{�顷��档�@�ε��{����Ҫ�u�����^ȥʮ���в����о��I����Mչ�ͳɾͣ��_����2020-2030������о��ęC����������·�������ˑ����@Щ����Ľ��h��
�������о�ǰ�أ�ʮ���{�顷���ָ�����l�_���ҺͰlչ�Ї�������������Ͳ��ϿƌW���I��ĸ�������δ��ʮ��ȼӄ����S�������ڔ��ֺ���Ϣ�r���İlչ�Լ����R��ȫ�����𣬲����о������������d���g����������ͿƌW��Ӱ푌�������Ҫ������J������о��ęC������9�����棺
1������
2020-2030�꣬���ٺͺϽ��I��Ļ��A�о����^�m�Ƅ��¿Ƽ������͌������О�ĸ��������⣬�Ķ��a���µIJ����O���ϵ�y��δ��ʮ����ǰ�����о��I������������Пo�����F������ͬ�L�Ⱥ͕r�g�߶����M����ό���Ӌ��ģ�M�о���ԭλ/���������������Č��r�������ӹ������Ͳ��ϽM�ք��£��Ԍ��F��һ���������p�|�Ͻ𡢳��ߏ���䓺��ͻ�Ͻ��Լ���ܸ���������ϵ�y���OӋ�����죻���������غϽ�Ĺ���Ч������ͨ�^�_�l�ɿ��Č���Ӌ������W�����섓���ڳ�Ҏ�Ͻ��в����ܳ��F���Y����ͨ�^���ͽ�ģ�Mһ������{�\�������е�׃�ΙC�ơ��ֽ⑪�������á��^�Y����׃���^�̺͙C�ơ�
2���մɡ��������ͺϲ��Ϻͻ�ϲ���
�մɺͲ����о��I����C����������ȱ����������OӋ���¾S�ȣ����⾧�����ݻ��c������׃���_�������մɵĹ��ܹ�ˇ�����a�����ܺͳ��ߜص��մɣ�̽������Y���g�a�����^��Һ�����ܻ��Ļ����C�ơ����������郦�ܺͷǾ��Թ�W�����Ĺ��w늽��|���V�������ڃ��ܺ�����ͨ�ţ��о��ğ��c���ϰ����^���w�Y���Ϲ衢III-V���ϡ������w�뼤�⌑�������Ĺ辧Ƭ���Ǿ��Թ�W���ϡ�
�ͺϲ��Ϻͻ�ϲ����о��I����C���������ھۺ����֬�����Ϻ������w�S�������ϵijɷֽM�����M�Є��£�ʹ����и����Ķ����ԺͶ���ԣ��_�l���Կ����u���͜ʴ_�A�y�ͺϲ��ϵď��s�О�ķ������A�y���ߡ���߶Ƚ�ģ���������ӏ���S�����������ݶ�/�ΑB�Pϵ�I�������ƌW�о����}⁵V����δ���ĝ����о������ǻ��ڼ��@���}⁵V̫���늳صķ������Լ��ж�Ԫ�ص�����о����ۺ���/�{���w����ϲ��Ϻͼ{�ͺϲ���δ�����о����c���о��ⲿ����늡��ţ������Լ{�����ӽM�b�^�̵�Ӱ푡��о����зֲ�ʽ�����ܵ�ܛ�|��Ӳ�|�ͺϲ��ϣ��@���Ƃ����ϙC���˵�������ϡ�
3���댧�w��������Ӳ���
�댧�w��������Ӳ���δ���Ĺ������c���D��������s�Ć�Ƭ�������������ܸ������̎�����Լ�����������S���ֵ�оƬ���@��Ҫ�аl�²��ϣ������ڽY�ϴ惦����߉���ܵ����O�䡢�܈��ЙC���W���ĵ��ܺļܘ����O�䡢�܈����c���yӋ��C߉�ͼܘ���Ȼ��ͬ���㷨���O�䡣����С�ͻ��ͳ�ԽС�ͻ�������о����c�������O���⣨EUV����̵����������ͱ�Ĥ��늲������ܡ������C�ϵ�y�Ͻ�ij��e���g�ͳ��μ��g�İlչ�������F���W����һ����Ϣ����Դϵ�y����Ҫ���ṩ���߹����ܶȡ�����Ч�ʺ�Сռλ��e��������Ӳ��Ϻ����������ɺͷ��b��׃���Լ���Ч�����w�ܡ�����������������������������ij��F����Ҫ�аl�²��ρ���Q���B�г��F�������ơ�
4�����Ӳ���
���Ӳ��ϰ��������w�����Բ��ϡ����S���Ϻ��ؓ���ϵȣ��������F׃���Ե�δ�푪�ã����wӋ�㡢�����惦��ͨ�š����к��������d���g�I�����w������о�ǰ���ǰl�F�²��ϡ��Ƃ�ξ����˽���ϵķӽY�������ܽM�����о����c�����аl�����A�y�²��ϽY�������ܵ���Փ/Ӌ��/���ɵĹ��ߣ��l�F���������ͳ������ϣ��Ƅ�����Ժ��ؓ䱣�o�о��lչ���Mһ�������c���V��������Ϣ�ƌW���P�����|�����Բ��Ͽ��ܕ����F�������Ӳ�ɫ����˹̹���ۡ����¼��w����ģʽ�����F�����Ƃ�ķ��F���w���ɞ�δ�����������W�I������c�о������S���ϵ����c�о�������������|�����S���ϼ�����Ӯ��|�Y���Ŀɿ����L�����|�Y���ͼ����b�õĽ��棨ճ����Ħ�������W���^�ɽ��ٶ�����ĵ͜غϳɵȡ����ؓ���Ϸ��棬�Cе�����Ͽ������µ���Ҫ�о����������ؓ���ɱȡ�ؓ���s�Ժ��ӎ�϶���µęCе���ܡ�
5���ۺ��������Ϻ�����ܛ���|
�ۺ���ڭh������Դ����Ȼ�YԴ���á�ͨ�ź���Ϣ���������I��l�]��Ҫ���á�
��1���ڭh���I�����ۺ���õ�Ŀ��������Ч�Ϳɳ��m�ķ�ʽʹ��ԭ�Ϻ;ۺ���aƷ���о�����������о�����ҕ��ԭ���ϣ����r�I�����I�����Ӯa���ďU�������̼�������|��ʹ���γ����õľۺ�����ϣ������ޏͲ����Ј��������������������Ժͻ������ã��ӏ����x���g�����������^�̵��аl�Ԍ��F������ϻ��ա�
��2������Դ����Ȼ�YԴ�����I�����о������������������惦ϵ�y�İ�ȫ�Ժ�Ч�ʣ��������w늽��|��ȫ�ЙC늳غ�����Һ��늳ص�����߀ԭ�ۺ���_�l���������D�Q�ľۺ�������ЙC�����LED����Ĥ���w�ܡ���늲��ϡ����������Ϳɴ���ϵ�y���_�l��������-ˮ�Y�ľۺ����Ĥ�Ϳ���Ⱦ���ϣ������ԴЧ�ʼ����\ݔ�坍ˮ�����ܽ������ϣ���ʩ�����ϾGɫ���W����ԭ������������/�ɳ��m��˼�룬�OӋ�_�l��Ʒ�����M�ۺ��\�g��
��3����ͨ�ź���Ϣ�I�����о�����������ھۺ�����ЙC�댧�w�У����������늺ɂ�ݔ��늺��d�����w���ʣ��ڹ�������У��OӋ���_�l���]�˽Y��/���|/��ˇ֮�g�Pϵ�İ댧�w�ЙC�;ۺ�����ϣ���������_�l��ʹ�á�
��4���ڽ����I�����о�����������������ھۺ���ļ{�ײ��ϵ��OӋ���Uչ�����߹��̵����ã��_�l���Mһ�������{�Y���Լ�����O���ֲ����Ķ��ơ�һ�γ��ͺͬF����������Ե��������켼�g���lչ���ھۺ���ĽM�������Ԝp�ل���ģ����ˎ��yԇ�Ͳ��Ϝyԇ�е�ʹ�á�
��5���ڻ��A�ۺ���ƌW�I�����о�����������ڶ����߶ȷ������о��ۺ���ĺϳɡ��Y�����ơ����|�������ӑB푑��ȣ�����ͼ������������������ګ@ȡʹ�Ù�����M�x����ͨ�^�τ���Ӌ�������ƌ�����Ϻ���Փ���σ���о����֮�g���J֪�ϵK���_�l�ɫ@�á��ɔUչ��ͬ�r���и��Gɫ�������ڵľۺ��
������ϵ��Mһ���lչ��Ҫ���M�ĺϳɷ������·f�ı����������M��Ӌ��������δ�����о���������о�ܛ���|�������О��Լ����վ����c��������M���ஔ���|���ܵĺϳɲ��ϵ����췽����δ��o�C������ϵ���Ҫ�о��������������ٵĽ��ٲ��Ϻ��մ�������ϡ��ßo�C��ĩ���������켼�g��������Ӳ������ܵ��������ǻ��W��ܛ������ϵ���Ҫ������������ӽM���еĽY�����ơ�ˮ���z������ˮ�ĽM���̈́����W���{�Y���ȶ���������̖�ľ��_���g��λ������
6���Y�������Ϻͳ�����
�Y�������Ͼ����������ƵIJ������Ժ�푑���ʹ�ýY���������M���p���������������Ч����Чؓ�d�������������������Լ������|����δ�����о���������_�l���ڽ���ͪ����������Եķ��������������Y���������ϵ�y�ȡ�
���������OӋ�����ľ����ض����ܣ��š�늡���ӡ��Cе�ȣ�푑��ĽY�������ϣ��@Щ����һ������Ȼ�粻���ڡ������ϵ�δ���о�����������������ڹ��������ļ{���Y��������늴���λƥ��ķǾ����OӋ���OӋ�ܮa��ؓ�����ʵķ���Ӳ��ϣ��p������S�w�Ĺ��Гpʧ��
7����Դ���ϡ������Ϻ͘O�˭h������
��Դ���ϵ��о�������������m�аl�Ǿ��衢�ЙC������}⁵V���ϵ�̫����D�Q����ܵIJ��ϣ��_�l�µİl����ϣ��аl��������������_�l��������ГQ���²����Դ��M���ΑBӋ��lչ�������ϵ��о�������������������ϵ���Փ�A�y���ߴ����ܟo�C��/���{���w���ĺϳɣ���Ч�����m�Ϲ��I���a�����õĿɔUչ�ϳɷ��������������������ڻ���λ���ϵ��x���Գ��e�����S���ϴ������о���
�O�˭h��������ָ�ڸ��N�O�˲����h�����ܷ��ϗl�����\�еĸ����ܲ��ϣ��о�������������ڿƌW���OӋ�_�l��һ���O�˭h�����ϣ������Ì��������c�ض����P�ļ{��׃�ΙC�Ƶ���������M�Ͻ���OӋ�����Ì����g�C���ĿƌW������OӋ�µ����g���ϣ�����O�˗l���²������ܘO�ͻ����˻��C����
8��ˮ���ɳ��m�Ժ͝������g�еIJ����о�
̼�����̓���IJ����о��ęC�������������܄�����������Ĥ���ϵ�̼�����������ЙC��ܵ�����̼�������ϣ�늻��W������ͨ�^���|�����M��̼��档����ˮ�IJ��φ��}�漰Ĥ���������������͵��µ��|�����еĽ�����ϿƌW�F����Ҫ�_�l�²��ϡ��±����������½��滯�WƷ����������Դ���淽��IJ����о����ڣ��аl���r�x�ӌ��w���µ�늳ز����������x��늳������ܶȣ��аl�������ܶȃ�����²����Ԍ��Fˮ�ֽ�/ȼ��늳�����ϵ�y��
�ۺ�����Ϟ�ɳ��m�坍���g�I���ṩ���صęC��������δ���о�������������ÿɳ��m�����Ƃ������ϵķ������߶���Ȼ�S���ľۺ�����w�S�أ�����Ч�ӹ���ʽ��ϡ���ĸ�Чʹ�á���ϡ�����Ʒ�Č��Һ��Ƃ䣬ϡ�����ϵĻ��պ������ã��������Mȼ��늳صķ��K������
9���Ƅӡ����桢���ͺ�����ܵIJ���
������ѳɞ��늳ص��߳������w�C���T�༼�g������Ҫ�ķ���֮һ������ڸ�������O��͑����У�Ч�ʵ�С��ߕ�����Դ��ʹ�îa���ش�Ӱ푣���Ҫ�ӏ��ܴ惦���D�Q�����ͺ�����ܲ��ϵ��_�l���о�����������_�l�����������g�IJ��ϣ����_�l�����^���ۻ���׃����������׃���ϣ������̫��ܟ�惦Ч�ʣ��_�l�µğ�늲��ϣ��۽�����ɫɢ�Pϵ���@ƫ�x���y�V���Ĺ��w���ϣ�ͨ�^������׃�����Ի��о���׃���_�l�µ���Դ����ϡ�
- �����������ƥ�䡱�����OӋ���t - ���������/���������������� AFM�����͟��茧���������о����Mչ 2026-02-05
- ������ͨ��W�Gɫ�����c�²����о�Ժ�߷��ӻ����²��τ��������\Ƹ���ꃞ��̎��Ͳ�ʿ�� 2026-01-09
- �����{�ײ����c�{�ͺϲ����о������\Ƹ���M�˲š���ʿ�� - �߷��Ӳ��ϡ������Ӳ��ϡ����W���Cе����Ϣ��Ӌ��C�ȣ��L����Ч�� 2025-09-05
- �����Ҹ��W���W�e�n�}�M�\��ȫ����ʿ�� - ���ϿƌW���߷��ӡ��Cе���̡��������W 2025-01-13
- �����W��ѩ���n�}�M�\�в�ʿ�� - ľ��/���{�����ϿƌW���߷��ӿƌW�����W/�������Cе���� 2024-10-31
- 2024��ȫ���߷��Ӳ��ϿƌW�c������ӑ���ړP�����_ | �����_��Ҋ 2024-10-23