�w�S�������z�������䪚�����ܼ����^�V������������ȼ�����܂��е��I��đ��óɞ鮔ǰ�о����c��Ŀǰ���{���w�S�����z�Ļ�Ԫ���϶����w�S�ؼ{���w�S���o늼��{���w�S���������Ը߾���������������ͻ��W�����Ժá����ڼӹ��������εȃ��c�V����������������еĸ��и��I����ˣ��OӋ�������ڟ����Ը߾���{���w�S�����z���ϼ����F�����ܿ��{�،��S�������z�Ę�����Ԫ���ϼ��䑪���I�������Ҫ���b���x��
��ǰ���|�A��WФ����ڈF��������ڹ���D������x���������Ը߾����֬�w�S�����{����ͨ�^�������ͻ��Wԭλ���������W�������õ���ϩ��ϩ�������EVOH���{���w�S�����z���������ģ�棬�����X��TMA����ˮ���XԴ����Դ����ԭ�ӌӚ�����e��ALD���ښ����z�������������X��Al2O3���w�����Ƃ���杙���Կɿص��ЙC-�o�C�ͺϼ{���w�S�����z��
�D1. �ЙC-�o�C�ͺϼ{���w�S�����z���Ƃ�ʾ��D
ͨ�^��׃ALDѭ�h�Δ����{�ؚ����z�м{���w�S�ı�����ò�������ֲڶ��S��ALDѭ�h�Δ������ӳʬF�����Ӻ�pС��څ�ݣ��c��ͬ�r�ͺϼ{���w�S�����z�ı���ʬF�Hˮ-��ˮ-�Hˮ��׃��������杙�����ɼ{���w�S�ı������ò��Al2O3���e�ﺬ����ͬ���ơ��^�ٵ�ALDѭ�h����ʹ�����z�Ȳ����ⲿ���߂䳬��ˮ�ԡ�����ͬһ���ϣ�ͨ�^ԓ�������Ƃ���ЃɷN��ͬ�������ԵIJ����wϵ��
�D2. �ЙC-�o�C�ͺϼ{���w�S�����z�ı��杙���ԣ���a���ЙC-�o�C�ͺϼ{���w�S�����z�ı���ˮ���|�ǣ������z��b��ˮ���|��ֵ�ͣ�c����ˮ���S�r�g��׃������d�����ݸ��g�ԡ��}���ЙC��Һ��6cy-ALD�����z��ˮ���|��ֵ��e��6cy-ALD�����z����Ⱦɫ��ˮ�κ��͵Σ���f��Ⱦɫˮ����6cy-ALD�����z�ăȲ�
�����z�������õĉ��s�؏��������L��ʹ�É�������Ҫ���ϡ�Al2O3�w���ij��e���������������z�ĉ��s���ȣ���100��ALD���ԣ��ͺϚ����z�ĉ��s�����͗���ģ���քe��31.13��5.54 kPa�����176.11��33.27 kPa������6cy-ALD�����zչ�F���õĻ؏��Ժ��͉��ԣ���500��ѭ�h���s�����f�ܱ���85%���ϵĉ��s������74%���ϵė���ģ����������׃�H��19.05%��
�D3. �����z�����W���ܣ���ͬALDѭ�h�Δ������z�ģ�a�����s����-��׃��������׃��80%������b��������͗���ģ������c��6cy-ALD�����z��ͬ��׃�r�đ���-��׃��������׃��40%��60��80%��,��d��6cy-ALD�����zѭ�h���s����-��׃��������׃��60%����ѭ�h���s�����ģ�e��������͗���ģ���ͣ�f�������p�ĺ������p��ϵ��
�����ALD̎�����ɫ@�ú˚��Y���ďͺϼ{���w�S�����z��ͨ�^�ߜ؟��ȥ�����еĺ˽Y������EVOH�{���w�S���������z�Ķ�Y���᷀͟���ԃ�����Al2O3Ϳ�ӵ��Ա������t�@���˴�����֧��Al2O3�{�ܚ����z����ȏ��cEVOH�{���w�S��ֱ��������ͬ��ͨ�^�y��Al2O3Ϳ�ӵĺ��Ӌ��@��ALD�ij��e���ʞ�1.05 ?/cycle��ԓ����������Ը߾���{���w�S�������ϵ��OӋ�͑����،�˼·��
�D4. ��a���ͺϼ{���w�S�����z�ğ��ط����D�����ǰ��b��50����c��70�ͣ�d��100cy-ALD�����z��Ʒ��Ƭ����e���o�C�пռ{�ܵ��Ƃ�ʾ��D����f��100-cy�пռ{�ܚ����z�Ĉ��l�������R�D���п�Al2O3�{�ܵģ�g��������R�ͣ�h������R�DƬ
���ϳɹ��ԡ�Atomic Layer Deposition onto Thermoplastic Polymeric Nanofibrous Aerogel Templates for Tailored Surface Properties�����}�l����ACS Nano��Փ�ĵĵ�һ���ߞ�|�A��W���όWԺ��ʿ��ꑽ�����ͨӍ���ߞ�Ф���������ͬͨӍ���ߞ����������WԺ��Karl I. Jacob��������������߀�����������Ο���Mark D. Losego������Rebhadevi Monikandan��
ԭ��朽ӣ�https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acsnano.9b09497
- ��I��W�������о��T�n�}�M����ˮ���xĤ������ȡ�����Mչ 2019-08-19
- ����������·���ڈF� AFM���ġ����顱���ֵ��IС������{���w�SĤ - ���F�{��Һ��ͨ�����x 2026-02-25
- ��ɽ��W�����F� AFM��������Ĥ�˚��{���w�Sˮ���z 2026-01-22
- ����W�K�s�����ڈF� AFM��Һ���{���x�ܸ����ܼ{���w�S�����z�OӋ 2026-01-14
- �Ͼ��֘I��W�̳�� Matter������ľ��ˮ�Ϛ����z�������ݗ�������c���m�l� 2026-02-18
- �V����W����� ���w��ϼ�F� AFM�����s�|�l�ӑB���ILDH@�w�S�ذ������{�����z˲�rጷż{���������ڿɳ��mˮ�ޏ� 2026-01-31
- ���ϴ�W���ٺ�/�����F� Small��ԭλ�V�����ɵ��p�W�j�Y�������ǏͺϚ����z�������ʯ�ͻ����ز��� 2025-10-27