�Ї����M��оƬ���ٰlչ�ڣ�����z����댧�w���첻�ɻ�ȱ�IJ��ϣ����g�T���ߣ������ȹ���z���w���gˮƽ�h�h�����H���Mˮƽ���Խo���^�ͣ��Ҽ����ڵͶˮaƷ��ԓ�ИIĿǰ��Ҫ��������I�ѳ֣������Ј������R�������ӡ����֡����⣬�Ј����Ƴ̷����Ըߡ���ˇ���ݶȴ������m�ԏ��Ĺ���z�aƷ��ָ�ɔ������댧�w���칝�c�M��sub-100 nm��������sub-10 nm����ήa���ֱ��ʸ��ҽ�����ò��������߅���ֲڶȣ�LER���͵Ĺ�̈D�Σ��ɞ��������Ĺ������}���댧�w�Ј����m�U������Mһ��������Ч��Ҳ�Ǵ�ҹ�ͬŬ���ķ����߂���Ԫ�fͬ��푑��C���Ĺ���z�������������}�ṩ���_�ķ�����ͬ�r��EUV����z�������_�l�����g���䡣
�D1. �p���x������fͬ����푑����W�Ŵ����z�ĺϳɼ����̹�ˇʾ��D��
�D2. �N��ͬ����z�wϵ�������ݗ����Ĥ�ӵ��������չ��V�ӑB׃����(a) P(MONMA-TBMA); (b) P(MONMA-HEMA-TBMA); (c) MONS/PMMA; (d) MONS/PTBMA; (e) MONS/P(MONMA-TBMA); (f) MONS/P(MONMA-HEMA-TBMA)��
�D3.��a������@Ӱ��P(MONMA-HEMA-TBMA)���W�Ŵ��z�Ĺ�W�@�RЧ���D����b������zʮ�ֈD��������ò�Ē�����R�D������c������z�ϵ��D��������ò�Ē�����R�D������d������z�ϵ��D���������B�ֲ���
ԭ��朽ӣ�https://doi.org/10.1016/j.cej.2024.148810
ͨӍ���ߺ���
���������ڣ�2001�ꮅ�I�ڱ�����W���@��W��ʿ�Wλ���F���A�пƼ���W��h��늇����о����Ľ��ڡ���JACS��Nano energy��Nat. Commun.�cAdv. Mater.�ȇ��H픿��ϰl����100��ƪՓ�ģ��@2017�걱������Ȼ�ƌW���Ȫ���2023�����ʡ��Ȼ�ƌW���Ȫ�����2018�����xӢ���ʼһ��W�W����ʿ��Ŀǰ���о����c�����ڹ�����졢�ЙC�{����ӌW�ͳ��ֱ��ʳ���
�������ڣ�2014�ꮅ�I����۳��д�W���@��W��ʿ�Wλ�����Ⱥ�@����ʡ������Ӌ��������3551��ȡ��������С�����ߌ��˲ſ�ȸӋ�����������������^ �������^�ߌӴ��˲š� ���˲ŷQ̖����2021���������ŷ�ɽ����ң��ι�ˇ�������ܡ���Nanomaterials��ACS APM��Appl. Phys. Lett.��Solid-State Electronics�ȇ��H픿��ϰl����ƪՓ�ġ�Ŀǰ��Ҫؓ؟������댧�w�����졢�ӹ��ͱ�����

��Ԋ����ʿ��2021�ꮅ�I���A�пƼ���W��h��늇��Ҍ���ң��@��W��ʿ�Wλ����Nano energy��ACS APM��Chem. Eng. J. �cChem. Mater.�ȇ��H픿��ϰl����ƪՓ�ġ����@��3551��ȃ��������˲š� �Q̖��2022���������ŷ�ɽ����ң�Ŀǰ��Ҫؓ؟�댧�w��������ǰ���аl��