����z����댧�w������P�I���ϣ����a��ˇ���s��Ʒ�N�࣬Ҏ��ࡣĿǰ���õ����Թ���z������Ҫ������ȩ��֬-�ص������������W�Ŵ��z�����Ӳ����z���⽵�����ۺ���ȣ���������g����i����KrF��ArF��EUV��������������������и߶˹���zϵ�кϳɵ���Ҫԭ���ώ�ȫ��ه�M�ڡ���ע����ǣ���ȩ��֬-�ص������wϵ����z���ϳɏ��s���ɱ������^�ߣ����⻯�W�����������S�����w�Įa�����@Щ���w���ܕ���Ⱦ��̙C�R�^�����⽵������z�wϵ�ɱ����������}���������_�l���ٔ��⽵������z�����Բ����Ӱ��˰댧�w����ĕr�gЧ�ʺͷֱ����������ڷ����_�P���⽵������z���䲻ͬ��Ó���o�����Ĺ�푑��C�ƣ���߷ֱ����z���ϵ��Ƃ��_����һ�N��˼·��
���գ��A�пƼ���W��h��늇����о��������������ڈF����Ϻ����ŷ�ɽ��������Ը߹����Ե���������������_�P�����ɻ���焩���嶡���������ӣ�TBHQ�������⽵���;۰������Թ���z�������£�HABI��Ԫ���x�����Ҝ��o�������������ڵ��������������ɻ������ɻ��Ŀ���ͺ��^�̱�TBHQ�����Д����߷��Ӿۺ�����˽���γɿ��ܽ����@Ӱ���ĵ;������D1������Ȥ���ǣ���HABI�����_�Pĸ�w�M������ԣ���푑����L���{�������f��ԓ�����_�P�ϳɵIJ�����Փ�Ͽ��m���������κβ��ε��ع⡣���⣬ԓ�wϵ����z������Ҫ���w����ԓ�F������аl��

�D1. ����HABI�����_�P�Ĺ⽵������z�wϵ���ڹ�������ʾ��D��
�D2. ��ͬ����z�wϵ��TBHQ/HABI����ȏ�1.5׃����3.5�r��ͨ�^��W�@�R��SEM�����D��LER��׃����
ԭ��朽ӣ�https://doi.org/10.1021/acsapm.3c02610
ͨӍ���ߺ���
��Ԋ����ʿ��2021�ꮅ�I���A�пƼ���W��h��늇��Ҍ���ң��@��W��ʿ�Wλ����Nano energy��Chemical Engineering Journal��Chem. Mater.�cACS APM�ȇ��H픿��ϰl����ƪՓ�ģ�������American Journal of Chemical Engineering�ڿ���ί�����@��3551��ȃ��������˲š��Q̖��2022���������ŷ�ɽ����ң�Ŀǰ��Ҫؓ؟RF������MEMS�����c�댧�w��������ǰ���аl��

�������ڣ�2014�ꮅ�I����۳��д�W���@��W��ʿ�Wλ�����Ⱥ�@����ʡ������Ӌ��������3551��ȡ��������С�����ߌ��˲ſ�ȸӋ�����������������^ �������^�ߌӴ��˲š� ���˲ŷQ̖����2021���������ŷ�ɽ����ң��ι�ˇ�������ܡ���Nanomaterials��ACS APM��Appl. Phys. Lett.��Solid-State Electronics�ȇ��H픿��ϰl����ƪՓ�ġ�Ŀǰ��Ҫؓ؟������댧�w�����졢�ӹ��ͱ�����

���������ڣ�2001�ꮅ�I�ڱ�����W���@��W��ʿ�Wλ���F���A�пƼ���W��h��늇����о����Ľ��ڡ���JACS��Nano energy��Nat. Commun.�cAdv. Mater.�ȇ��H픿��ϰl����100��ƪՓ�ģ��@2017�걱������Ȼ�ƌW���Ȫ���2023�����ʡ��Ȼ�ƌW���Ȫ�����2018�����xӢ���ʼһ��W�W����ʿ��Ŀǰ���о����c�����ڹ�����졢�ЙC�{����ӌW�ͳ��ֱ��ʳ���
- ���ݴ�WҦ����/κ��/����Ӱ AFM�����ڹ���|�l���ޏ;۰��������w�Ķ�ܟ���׃ɫ�ɹ��b�� 2026-02-28
- ������Ĵ�W�����ڣ����R AFM���͘O�˜ضȡ���Ⱥ��܄����g�ĸߙCе���ܾ۰����受���w 2026-02-25
- ������������/������ڈF� Macromolecules�������ܳ�֧���۰�������x��ԭλ��ҕ�� 2026-02-09
- �����V���������� ACS Nano����߸߷����Ժ��`���ȵĘO����������������������z 2025-10-31
- ���A��W�S�Aƽ���� Sci. Adv.���������� - һ�N����ĘO���⣨EUV������z 2025-07-21
- �Ї��ƴ����½��ڈF� Angew�����ھ��ʸ߷��ӻ��W�ĆνM�֘O�������z 2024-09-29