�п�Ժ�V�ݻ��W����MEMS��������֬�����̼�������Ƃ䡱ͨ�^���
2009-11-17 ��Դ���Ї��ۺ���W
�P�I�~���п�Ժ�V���� ��̼����
11��10�գ��V���пƼ��ֽM�����������_�����п�Ժ�V�ݻ��W���Г��ďV���пƼ����P�Ŀ��MEMS��������֬�����̼�������Ƃ䡱��2007Z3-D0261����Օ�����Ռ��� ȡ���Ŀ�аl�������Y��桢���g��棬��������P���ϣ����J��ӑՓ����Ռ��ҽMһ��ͬ��ԓ�Ŀͨ�^��ա�
ԓ�Ŀ�ɹ��Ƃ��˰����������\��SalenAl��DMC�ڃȵ����N��ʹ����������ɹ����ڶ�����̼�c�h�����ﹲ�۵õ�֬�����̼����������SalenAl��������̼�c�����h��ϩ���۵õ��˸߽���Ⱦ�̼�၆�h������朽Y��fc>0.495�����������x��Al����<1ppm�������M����1��������Ƃ���ԇ��10�����̼�၆�h�����ϳ���ԇ���M���ˮa���̎���ͮa��ğ�W�����о�������MEMS�������Ϸ���đ��ô��������õĻ��A��
ԓ�Ŀ�ɹ��Ƃ��˰����������\��SalenAl��DMC�ڃȵ����N��ʹ����������ɹ����ڶ�����̼�c�h�����ﹲ�۵õ�֬�����̼����������SalenAl��������̼�c�����h��ϩ���۵õ��˸߽���Ⱦ�̼�၆�h������朽Y��fc>0.495�����������x��Al����<1ppm�������M����1��������Ƃ���ԇ��10�����̼�၆�h�����ϳ���ԇ���M���ˮa���̎���ͮa��ğ�W�����о�������MEMS�������Ϸ���đ��ô��������õĻ��A��
����c��؟�������W퓵ă������Ї��ۺ���W�ռ����W�ϰl������Ϣ�����@�á�Ŀ�����ڂ��f��Ϣ��������������ζ��ٝͬ���^�c���C�����挍�ԣ�Ҳ�������������h���H�ṩ����ƽ�_����������ؓ؟�����漰�֙࣬Ոϵ�҂����r�Ļ�h�����]�䣺[email protected]��δ�����Wͬ�ⲻ��ȫ���D�d��ժ��������������ʽʹ��������Ʒ��
��؟�ξ������棩