發(fā)明/申請(qǐng)人：胡克苓, 馬正峰, 孫鑫, 蘇成坤, 孫金明
專利號(hào)/申請(qǐng)?zhí)枺?024103940402
授權(quán)/申請(qǐng)日期：2024-4-2
本發(fā)明屬于光刻膠樹脂技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種無(wú)金屬殘留、窄分子量分布的聚苯乙烯衍生物光刻膠樹脂前體的制備方法及應(yīng)用。本發(fā)明采用有機(jī)催化的活性自由基聚合技術(shù)（Reversible Complexed Mediated Polymerization, RCMP），選擇特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的有機(jī)碘代物作為自由基引發(fā)劑，四丁基碘化銨作為有機(jī)催化劑，通過(guò)優(yōu)化聚合反應(yīng)條件制備得到一系列不同分子量范圍和分子量分布的光刻膠用樹脂前體聚苯乙烯衍生物，從源頭上避免了金屬離子和含硫變價(jià)基團(tuán)的殘留，制備工序簡(jiǎn)單，后續(xù)不需要提純除雜工藝可直接使用。