光刻膠在光刻工藝中功能界面的形成機(jī)制與調(diào)控(NSFC面上項目)
Category of Research Project:國家自然科學(xué)基金面上項目
Number of Research Project:22573037
list of participants :劉鴻(項目負(fù)責(zé)人)
beginning and ending dates :2026.1-2029.12
光刻膠在光刻工藝中功能界面的形成機(jī)制與調(diào)控,直接經(jīng)費50萬元。