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光刻膠在光刻工藝中功能界面的形成機(jī)制與調(diào)控（NSFC面上項(xiàng)目）
項(xiàng)目類(lèi)別：國(guó)家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目
項(xiàng)目編號(hào)：22573037
參與人員：劉鴻（項(xiàng)目負(fù)責(zé)人）
起止日期：2026.1-2029.12
光刻膠在光刻工藝中功能界面的形成機(jī)制與調(diào)控，直接經(jīng)費(fèi)50萬(wàn)元。
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