inventor/creator：孔令斌, 孫林林, 康龍.
Paten number/application number：ZL200910021718.8
application/authorized announcemen date：2012-11-7
brief introduction：
用于超級(jí)電容器電極的多孔碳薄膜材料的制備方法，其步驟為：首先在750～800℃沉積溫度下在容器內(nèi)的沉積位置處放入基片；用真空泵將容器中的空氣抽出，使容器內(nèi)達(dá)到高真空，即1-7～10-8Pa的真空狀態(tài)；向容器內(nèi)通入惰性保護(hù)氣體，用質(zhì)量流量計(jì)控制惰性保護(hù)氣體的流量為70～80mL/s；向容器內(nèi)通入還原氣體，用質(zhì)量流量計(jì)控制氣體流量為70～80mL/s；然后向容器內(nèi)通入烴類混合氣體，用質(zhì)量流量計(jì)控制氣體流量為50～80mL/s；將容器加熱，加熱到900～1000℃時(shí)進(jìn)行保溫，時(shí)間持續(xù)1～2小時(shí)，混合烴類氣體的還原反應(yīng)使得基底上沉積出多孔碳，即得多孔碳薄膜材料。