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微梁免疫傳感技術是在原子力顯微鏡和微機電系統基礎上發展起來的一項新興傳感技術，具有檢測靈敏度高、無需標記、能實時原位再現生化反應過程等優點。本文針對單梁傳感系統中存在的環境擾動和不能多通道檢測等問題進行改進，設計制作了一種基于壓電掃描的新型微梁陣列免疫傳感器。利用商品化微梁陣列對傳感器進行了溫度測試實驗，所得信號曲線穩定一致，且檢測靈敏度達到2nm，實驗結果驗證了該微梁陣列傳感系統的檢測可行性，為微梁陣列生化檢測的實現提供了一種新的方案。