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溫度及溫度梯度對(duì)SiC單晶生長(zhǎng)的影響  
溫度及溫度梯度對(duì)SiC單晶生長(zhǎng)的影響
資料類(lèi)型: PDF文件
關(guān)鍵詞: SiC單晶  溫度及溫度梯度  生長(zhǎng)速率  多型  擴(kuò)徑生長(zhǎng)  
資料大小: 142K
所屬學(xué)科: 分子表征
來(lái)源: 來(lái)源網(wǎng)絡(luò)
簡(jiǎn)介:
利用升華法在高溫低壓下生長(zhǎng)大直徑SiC單晶。通過(guò)實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn):在相同的軸向溫度梯度下,SiC晶體平均生長(zhǎng)速率隨籽晶溫度的升高而變大。通過(guò)減小軸向溫度梯度,降低晶體生長(zhǎng)界面的徑向過(guò)飽和度分布,可以抑制多型的生長(zhǎng)。通過(guò)優(yōu)化溫場(chǎng)的徑向溫度梯度,利用φ50mm的籽晶進(jìn)行生長(zhǎng),得到了φ57mm的SiC單晶,實(shí)現(xiàn)了晶體的擴(kuò)徑生長(zhǎng)。
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上傳時(shí)間: 2007-07-09 11:41:34
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hustlb    2009-03-23 9:59:53
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