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冷等離子體中的粉體研究  
冷等離子體中的粉體研究
資料類型： PDF文件
關鍵詞： 冷等離子體  粉體表面刻蝕  硅粉純化  
資料大小： 265K
所屬學科： 分子表征
來源： 2007年第六屆中國功能材料及其應用學術會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢)
簡介：
介紹了在冷等離子體中粉體研究的幾個重要成果，分析了粉體在兩種反應室結構中的運動、沉降時間及刻蝕狀況。理論分析和實驗結果表明帶振動陰極的反應室在粉體表面刻蝕方面比傳統陰極結構的反應室要優越得多。研究表明冷等離子體對硅粉純化具有應用前景。
作者： 王敬義，尹盛，趙亮，趙伯芳
上傳時間： 2008-05-19 15:45:59
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