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p-Si TFT柵絕緣層用SiN薄膜的制備與研究  
p-Si TFT柵絕緣層用SiN薄膜的制備與研究
資料類型： PDF文件
關鍵詞： PECVD  SiN薄膜  反應源氣體流量比  反應壓強  
資料大小： 277K
所屬學科： 分子表征
來源： 2007年第六屆中國功能材料及其應用學術會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢)
簡介：
以NH3和SiH4為反應源氣體，采用射頻等離子體增強化學氣相沉積（RF-PECVD）法在多晶硅（p-Si）襯底上沉積了一系列SiN薄膜并進行了相關性能測試。系統地分析討論了反應源氣體流量比和反應壓強對SiN薄膜介電常數、電學性能及界面特性的影響。在制備高質量的p-SiTFT柵絕緣層用SiN薄膜方面具有重要的參考價值。
作者： 張化福，劉漢法，祁康成
上傳時間： 2008-09-11 15:27:51
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