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微電子材料在微塑成形中的尺度效應 |
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| 資料類型： |
PDF文件
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| 關鍵詞： |
微塑性成形 微電子材料 尺度效應 流動應力 塑性應變梯度 |
| 資料大小： |
274K |
| 所屬學科： |
分子表征 |
| 來源： |
2007年第六屆中國功能材料及其應用學術會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢) |
| 簡介： |
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微電子材料在微機電系統（MEMS）的發展中越來越受到青睞，但是其工藝加工的不足限制了實際應用的步伐。微塑性成形可以成形微電子器件，由于其尺寸微型化，在微塑性成形中存在一個不可避免的“尺度效應”問題，尺度效應表現在材料的流動行為、成形中摩擦效應和實驗結果的分散性上。在介紹尺度效應的基礎上對其進行了分類，給出了判斷標準，并從流動應力、晶粒尺度、摩擦效應和溫度效應等方面綜述了尺度效應對微塑性成形的影響。由于基于連續介質的傳統塑性力學理論無法解釋微塑性成形過程中的尺度效應，因此引入了非均勻介質的塑性應變梯度理論并進行了探討，最后指出了尺度效應的研究發展方向，從而促進微電子材料的開發應用。 |
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| 作者： |
王勻，孫日文，許楨英，張凱，袁國定
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| 上傳時間： |
2008-08-26 14:48:20 |
| 下載次數： |
41 |
| 消耗積分： |
2
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