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后處理工藝對(duì)BST 薄膜殘余應(yīng)力的影響的分析  
后處理工藝對(duì)BST 薄膜殘余應(yīng)力的影響的分析
資料類型: PDF文件
關(guān)鍵詞: 射頻磁控濺射  鈦酸鍶鋇薄膜  晶化  殘余應(yīng)力  
資料大小: 307K
所屬學(xué)科: 分子表征
來(lái)源: 2007年第六屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議暨2007國(guó)際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19,武漢)
簡(jiǎn)介:
采用射頻磁控濺射在Pt/Ti/SiO2/Si(100)襯底上制備了鈦酸鍶鋇(BST)薄膜,利用氣氛爐對(duì)薄膜進(jìn)行晶化處理,晶化后薄膜的應(yīng)力采用XRD表征。研究其殘余應(yīng)力隨退火氣氛、退火溫度以及退火降溫速率變化的趨勢(shì),通過(guò)對(duì)不同后處理工藝參數(shù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果的分析,得到較優(yōu)化的工藝參數(shù),以制備較小殘余應(yīng)力的優(yōu)質(zhì)BST薄膜。
作者: 唐海軍,楊傳仁,陳宏偉,張繼華,馮術(shù)成
上傳時(shí)間: 2008-08-28 13:57:03
下載次數(shù): 39
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