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光敏性雜化SiO2波導(dǎo)薄膜的制備、表征及應(yīng)用  
光敏性雜化SiO2波導(dǎo)薄膜的制備、表征及應(yīng)用
資料類型： PDF文件
關(guān)鍵詞： 溶膠-凝膠  紫外光直寫  雜化  光波導(dǎo)  分束器  
資料大小： 382K
所屬學(xué)科： 分子表征
來源： 2007年第六屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢)
簡介：
利用有機/無機雜化方法制備了光敏性溶膠-凝膠(sol-gel)SiO2材料，在預(yù)生長了18μm厚的SiO2上包層的硅基片上旋涂成膜。經(jīng)前烘、紫外曝光、后烘的薄膜在5μm5μm的掃描范圍內(nèi)的表面粗糙度只有0.266nm，表面起伏度只有0.336nm。利用紫外光直寫技術(shù)，制作出條形波導(dǎo)器件。SEM照片表明波導(dǎo)端面形狀較好，側(cè)壁陡直。對14多模干涉型分束器進行初步的通光測試，觀察到分光效果較好的近場輸出圖像。
作者： 王 玥，吳遠大，李建光，安俊明，王紅杰，張家順，尹小杰，胡雄偉
上傳時間： 2008-09-09 16:44:31
下載次數(shù)： 28
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