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二氧化釩薄膜微結構和光學相變特性 |
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| 資料類型： |
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| 關鍵詞： |
薄膜 V O2 脈沖濺射 微結構 光學特性 |
| 資料大小： |
321K |
| 所屬學科： |
分子表征 |
| 來源： |
2007年第六屆中國功能材料及其應用學術會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢) |
| 簡介： |
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二氧化釩薄膜是最有前途應用到非制冷紅外微測熱輻射計的材料。它的特性與制備方法、化學計量比、結構和取向等有直接關系，仔細控制工藝參數是制備應用的VO2薄膜關鍵。研究中采用脈沖磁控反應濺射方法，通過精確地控制功率、氧分壓、基底溫度等關鍵工藝參數，在石英玻璃和硅片上制備VO2薄膜。利用X射線衍射和X射線光電子譜，分析了薄膜的成分、相結構、結晶和價態情況，用原子力顯微鏡表征了薄膜的微觀結構，在光譜儀對VO2薄膜的高低溫光學特性原位測量。結果表明，得到的VO2薄膜純度高、相結構單一、結晶度、多晶生長。在波數2000cm-1高低溫透射變化達到51%。 |
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| 作者： |
許 旻，邱家穩，崔敬忠，王潔冰，何延春
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| 上傳時間： |
2008-09-10 13:37:09 |
| 下載次數： |
30 |
| 消耗積分： |
2
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