�{�����ĵȆ�λ������̼���{���о�����ȡ���Mչ
2008-04-16 ��Դ���Ї��ۺ���W
�P�I�~��
���գ��ɇ��Ҽ{�ƌW���ČO�B�塢���l���Ȍ������п�Ժ��������˼��Ժʿ����ɽ��W���������ڣ��ڸߺ�������̼��һ�S�{�Y�����Ƃ��о�����@������Ҫ�Mչ���������÷ֲ��ѽ������谷�ķ������@���˟᷀���Ը���700 ���̼�����ϣ����е������s��̼������1.5���������@�N�a������ԭ�ϣ����ß����lCVD�ķ������F��̼���{���Ĵ������Ƃ䡣ͨ�^�{�������҃�̼���Ě���։����������^����(100 nm - 10��m)�{��̼���w�S/�{����ֱ�����ɷַ����Y���������a���еĵ�ԭ�ӱȺ������^55%��ͨ�^һϵ�Ќ����������������ǰ�������^�ߵğ᷀���ԣ��ڟ����l�^������̼��ԭ�ӽM�ɵ��s���h(C3N3)���������Y�����]�б��Ɖģ�������������ĽY����Ԫ�ڜضȺ��d��������m��λ�ó��e�����L��һ�S�Y�����Ķ����C�ˮa��ĸߺ�������
ԓ��о��ɹ���̼���;S���ϵĴ�Ҏģ�ϳɼ����õ춨�˻��A�����ֽY����4��9�ա����M���ϡ��W�j���ϰl����ԓ��о��õ��ˇ�����Ȼ�ƌW����ί�T�����Ƽ������Ї��ƌWԺ������Ӌ�����Ŀ���Y����
����c��؟�������W퓵ă������Ї��ۺ���W�ռ����W�ϰl������Ϣ�����@�á�Ŀ�����ڂ��f��Ϣ��������������ζ��ٝͬ���^�c���C�����挍�ԣ�Ҳ�������������h���H�ṩ����ƽ�_����������ؓ؟�����漰�֙࣬Ոϵ�҂����r�Ļ�h�����]�䣺[email protected]��δ�����Wͬ�ⲻ��ȫ���D�d��ժ��������������ʽʹ��������Ʒ��
��؟�ξ������裩
���P��
- ���o���P��
