国内精品国产三级国产在线专_欧美日韩在线播放一区二区_成人xxxx视频_欧美激情视频一区_色女人综合av_久久久亚洲影院_久久久久久九九_成人免费网站在线_日韩美女毛茸茸_狠狠干一区二区

  Ƕ�ι����ﶨ��M�b(directed self-assembly, DSA, �D1)�c�����ع�(multi-patterning)���O������(EUV)���{�׉�ӡ(NIL)��������̌�(E-beam) �����H�댧�w�ИI�f��(ITRS)���x���Ƃ�빝��С��16 nm�ӑB�S�C�惦���ͼ����·��N���ڵļ��g���������У�����Ƕ�ι����ﶨ��M�b���g���Ը�Ч����Ŀǰ֧��댧�w�a�I�Ĺ�̹�ˇ����ʹ�óɱ��O�͵��ЙC����������ܹ��I����A�����ʮ�꣬����Ӣ�ؠ���IBM��ϣ�ݿƼ����������������ǵȇ��H�댧�w��I���^�����^������Ƕ�ι����ﱡĤ�Ķ���M�b�о������ڌ��@һ���g����a�I����Ŀǰ������ϩ-�׻���ϩ�����Ƕ�ι�����(PS-b-PMMA)���ڿ�ʹ�ú��εğ��˻�ˇ���ɞ鹤�I��Ę˜��аl���󣬵��z������PS-b-PMMA�ğ����W�໥���Å����^С(��~0.037, 150 oC)������������x�ۺ��ֻ�ܵõ���25 nm����x�ߴ磬���ܝM����һ�������·��ˇ���c(�빝��<10nm)�ļ��gҪ�󡣱M��Ŀǰ���_�l�˔��԰�Ӌ�ĸ��໥���Å�����Ƕ�ι��������Ƕ�����^��ı����ܲ�e�����@ЩǶ�ι����ﶼ������Ч���ݰ댧�w�a�I�Ĺ�̹�ˇ���ɞ��Ƽs����M�b���g����һ���S�C�惦����΢̎����ͦ�M������ϵK��

  ᘌ��@һ�Ƽs����M�b�ļ��g�y�}�������㽭��W�߷���ϵ��V���о��T����־�������аl�F꠽Y��ǰ��Ƕ�ι�����ĺϳɽ��(JACS. 2012, 134, 17739��Angew. Chem., 2013, 52, 10602��Macromolecules, 2016, 49, 807)�����c������ؕ���Ҍ���Һ�֥�Ӹ��W��Nealey ���ں������ɹ��_�l���˝M����һ�������·�ʹ惦�����cҪ��ı���ϩ-̼���ϩ��Ƕ�ι�����(PS-b-PPC���D2)�����_�l�ľ�̼������Ƕ�ι�������໥���Å����DZ���ϩ-�׻���ϩ�����Ƕ�ι�����ăɱ�֮��(��=0.079, 150 ��)��������Ҫ����ԓǶ�ι�����������ù��I����A�ğ��˻�ˇ�ڻ��W�D���Ͽ��ٌ��F�oȱ�ݵĶ���M�b���빝���_���� 8.4 nm���D2������������Ŀǰ�����İ댧�w������̣��m������һ��< 10 nm���c̎�����Ĺ�ˇ���������⣬�M�b��ĸ߷ֱ��ʼ{�׽Y�����Ը߱�����D�����댧�w������ϣ��M�����F�����·�ʹ惦���ĺ��ڼӹ������P�о�����Ո�Ї����������ھ��l���ڲ����피��ڿ���Nano Letters����(Nano Lett., 2017, 17, 1233�C1239)�����������؞�ĴTʿ��ԓՓ�ĵĵ�һ���ߡ�


  ����о��õ�������IBM��˾�ĸ߶��u�r: The capability of this block copolymer (PS-b-PPC) to pattern at very small scales (~8 nm half pitch) using only thermal annealing to promote ordering, while piggybacking on the materials and process flows used for PS-PMMA, make it possibly the best candidate for next generation directed self-assembly that we have seen so far�����⣬�@һ�²��ϵĈ��Ҳ�����˰�������ϣ�ݿƼ�(Seagate)�͚W��΢����о�����(IMEC)�Ȱ댧�w��I�ĺ������򣬲�Ӌ���ڱ����rIMEC����12Ӣ��辧�A��ˇ�������M�зŴ�򞡣
  ԓ�о��õ��ˇ�����Ȼ�ƌW������㽭��W����Ӌ����֧�֡����⣬�@һ�漰���W�ϳɡ���Ĥ���댧�w���ϡ�΢��Ӻ͹�̼��g�Ľ����о�Ҳ�õ��˰������B������W���п�Ժ��������ؕ���Ҍ���ҡ�֥�Ӹ��W��·��˹���{������W�Ⱥ�����λ�ąf����
  Փ��朽ӣ�
  Directed Self-Assembly of Polystyrene-b-poly(propylene carbonate) on Chemical Patterns via Thermal Annealing for Next-Generation Lithography, Nano Lett., 2017, 17, 1233�C1239.
  http://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/acs.nanolett.6b05059