���Ѽ��錧�����ڵ��~Һ���γɚ��ݣ������ښ��ݱ���ֽ��̼ԭ�ӣ�̼ԭ���ښ��ݱ���M�b��ʯīϩ�������S���ݵ��_�����~���棬���w���ռ����С��S�����ݲ���a�������|����ʯīϩ����������L��������
�]�e���ĬF�����Ƃ�ʯīϩ�����@ô���Σ����b�õ�һ��ͨ�볣Ҋ�����r����Ȼ�⣬���b�õ���һ�˾͕�ԴԴ����خa�������|���ġ���ɫ�S��ʯīϩ���@�������ڑc�P����������Ƃ�ʯīϩ�����O�룬��ӿƼ���W���A�cǰ���о�Ժ2013����ʿ�����������F��ԓ�O�롣
���գ����������ڑc�P���ں���С�������ڲ����c���W�ƌW�I��피��ڿ������ϻ��W���ϰl��Փ�ģ����@һ�����M����ϵ�y���U�����ڿ��������J�飬��ԓ�������a�˂��y���W������e����CVD����������߀ԭ��֮�g�Ŀհף���ʯīϩ�Č��H���Ì��O������M���ã����������Mһ���ؑ������������|�����S���ϵĴ����Ƃ䡣���Q��Ԓ�f���@���·������H��ʹʯīϩ׃�ɡ��ײ˃r����߀���������S���ϵĴ�Ҏģ���a�_����;����
�ڑc�P��ʯīϩ���L�I����_����֮һ��������������`�����~�����Ú�����e�����Lʯīϩ����懲������Lʯīϩ�Ĺ���Ҳ���V�����á����ң����r�ڑc�P�������_չҺ�B�������P�ij�����O�䡣�ڌ�����������ͨ�^�@�N��������ʮ�ֺ��ε�С���b�ã�һС�r�Ϳ������a��9��ʯīϩ��������F�ˮa�I�����ô����b���M�����a���a��߀�������o�Ɇ�������ʯīϩ�ďV������ͻ����һ��ƿ�i��
���y�Ƃ䷽���y�ԃ�ȫ
��ʯīϩ�l�F�ԁ����˂������о��l�F����늌W����W�����W�ȷ���ĸ��N�������|�Լ�����ǰ�������Lԇ�ø��N�����Ƃ����a����Ŀǰ���е��Ƃ䷽�����Ѓ��ӣ��y�ԃ�ȫ��������e���|���ö��a���ͣ�����߀ԭ���a���ܸߵ��|���
�ڑc�P���ں���������ʿ���_ʼ�о��r�ʹ_��Ŀ�ˣ�Ҫ�ҵ�һ�N���ܱ��C�a�����ܱ��C�|���ķ��������J�飬�F�ڳ��õĴ�Ҏģ�Ƃ�ʯīϩ������߀ԭ��������ʯīϩ�ġ�������ɇ��ؓp�ģ��O���Ӱ�ʯīϩ��Ʒ���|������ˣ���һ�_ʼ�����ᗉ�ˡ�����߀ԭ�����@���о�·����
��ô��������e�����ͻ���أ��������f���@�N������ԭ����ͨ�^�ߜغ�̼���w�ֽ��γ�̼ԭ�ӳ��e�ڽ��ٻ��w�����γ�ʯīϩ���|���ܲ��e���������ɵĵ�һ��ʯīϩ����K���ٌ������^�̵Ĵ����ã�����a���ܵ͡����}���P�I��������ô�����ٺͺ�̼���w�M�г�֡����m�Ľ��|��
�ڑc�P���������뵽��Һ�B���ٴ��桰������e�����еĹ̑B���١�2015�꣬���c��ӿƼ���W��С�������_չ��������С���������������������w��ɴ�헹�����
������
������СС�Ą�
�������������������@�У�һ�ɾ���һ��롣���ڑc�P��ָ���£� ���������������ڽ����С������ݡ��ķ������@��ǰ��δ�еķ������������ɞ顰��һ�����з���ˡ���
���Ч���������ϣ��������ڽ����аl�����������ݾ͕�һֱ����خa����һ���µĚ��ݾ͕��γ�һ���µě]��ʯīϩ�ı��棬����خa�����ݣ�ʯīϩ�͕�����خa���������Ķ����ʯīϩ�Įa������
���ˌ���һ�N��Ч����õĽ��٣���������۵��������u�z�ǘ����T��N���ٲ������M�ЇLԇ�Y�x�����_ʼ��扺���������l�F�L�����Ė|�����_�����A�ڡ��˺����ֻ��������µĕr�g���Ⱥ����~���~懺Ͻ���T������M�Ќ��������@Щ��ͬ�NĽ��ٴ������aʯīϩ�ĺ�Ⱥ��|�������l�F�~��Ч����á��a����ߣ���ʯīϩ���L����֮����Ư����ˮ���һ���ͼ��ǘ�Ư��Һ�B�~�ı��桱��
����CVD���Ƃ�õ���ʯīϩ�ı�������a���d��Ƭ���ἃ�^���ʯīϩ�Ĺ�W�@�R�DƬ����b������ʯīϩ�Ē�������@�R�DƬ����c��ʯīϩ���������V�D.��D��ʯīϩ2D����傐Ɲ�M�ϽY������d-f������ʯīϩ������R�DƬ.�Da��b�еĘ˳߷քe��5��100�ף�d-f�еĘ˳߷քe��1�ס�200nm��5nm��
����������y�}�ǣ���ΰ��@һ�ӌ�Ư����ʯīϩ�ռ������أ��������뵽���k������Ȼ���ÙCе�ķ����Ƴ��������@�N�k���@Ȼ�Dz��������Ч�ʵ��µġ���˼����֮�r����ż�c�ڑc�P���ڽ������ڑc�P�f�����β���������������
���@��һ����Ҫ����ʾ�����������f����ʯīϩ��Һ�B�~�Ľ����Ժܲ�����z�Dz���ճ��һ��ģ����ͨ����w��һ�£�Ư����Һ�B�~�����ʯīϩ�͕��w�������҂�ֻ��Ҫ���b�õ�β���O��һ�������ռ��Ϳ����ˡ���
�����y�Ě�����e���Įa����С�������o���ÿˁ�Ӌ����ֻ���f��e�ж���ƽ�����ף����֙C�@ô���һ��ʯīϩ�����ܶ�Ҫ�װىK�X�����������f���������ҵķ�����ʯīϩ������ɱ�������߀ԭ����࣬1��ֻҪ�K�X���|��������߀ԭ���ߵöࡣ��
��ʯīϩ����a�I����
���^һ�����о�����������2016���°���̽������һ�����������ʯīϩ�Ƃ䷽���������ڑc�P���ںܿ������Փ�ģ���ԓ�����M���������Y�������@�N����ʷ�oǰ������ˣ��������@ƪȡ��ͻ�����Mչ��Փ�ĵijɹ��l��M�����ġ�
2016�꣬������Փ��Ͷ�o���ƌW���͡���Ȼ�������]���ϵ���Փ�ľ����ܸ塣����Ȼ���ľ��߶ȿ϶����@һ�����Ƃ䷽������Ҳһ�ҊѪ��ָ���@�N�����IJ��㡪������ڂ��y�Ě�����e�������ݚ��෨�a����ʯīϩ��Ȼ�^��
�mȻ���ܴ��ۣ����@һԭ���Գɹ�覲���褡��S�����������ڑc�P���о��M���˃�������Ͷ��o�����ϻ��W���ڿ����Y������l�����F�ڣ�����������Ŭ����Q���ͨ�^���њ��ݴ��顱�͡��{�����w��ȡ��ȷ������Mһ������ԓ�����Įa���������|���������ڲ��õČ����ٴ��ƌW���͡���Ȼ���M܊��
�����²����еġ���ɫ�S�𡱣�ʯīϩ����ӡ������ī������Ϳ�ϡ������O�䡢���պ�����I��������ĝ����Ј��ȴ��ھ�
���ò��˶�ã�ʯīϩ���V���M���҂��������׃�@�����磡���������f��