国内精品国产三级国产在线专_欧美日韩在线播放一区二区_成人xxxx视频_欧美激情视频一区_色女人综合av_久久久亚洲影院_久久久久久九九_成人免费网站在线_日韩美女毛茸茸_狠狠干一区二区

  ������������һ����̼��g�е����������ߣ��ع��Դ�����ͻ�������������Ч���ľ��ޣ����ИO�ߵķֱ��ʣ���΢�{�ӹ��������ǹ����Ĥ�����������V���đ��á�Ŀǰ���Ј��ϳ��õ����������z��Ҫ����PMMA-950k��ZEP520��HSQ���z�N�����¾��������Ȱ댧�w�S�̉Ŕࡣ�_�l��������֪�R�a��ĸ����ܹ���z�����F�M��������ɞ��҇������·�a�I�����ɿصĹ��R���о��n�}��

  ��������㽭��W�߷���ϵ��V���n�}�Mͨ�^���W�ƽ��棬��������̼����̼������������̼�ͭh����N�Ľ��湲���������չ��΢��Ӯa�I�����������z�͌������z���ϡ�2017�꣬�����OӋ�˾۱���ϩ-��̼�������Ƕ�ι�������ù��I����A�ğ��˻�ˇ�ڻ��W�D���Ͽ��ٌ��F�����̣��m����7 nm���c̎������������Nano Lett., 2017, 17, 1233�C1239����2020�꣬�����Mһ���OӋ�ϳ��˰빝��6�{�׵�ABA�;�̼�������Ƕ�ι�������F�˼����·���û����D�ε��g��(Nat. Commun., 2020, 11, 4151)���ڴ˻��A�ϣ������c������Ķ�λ�о��ߺ������_�l���˾��и��`���ȵ����Ժ�ؓ�Զ�����̼����̼�������������z��Adv. Funct. Mater. 2021, 31, 2007417)��

  ������֪���@Ӱ�ǹ�̹�ˇ����������P�I�IJ��E֮һ���ڲ�ͬ���@Ӱ�l���£��`���ȡ��ֱ��ʺʹֲڶȵȅ������@ʾ���޴����������F��ؓ�Եķ��D���Ķ�����̽Y����оƬ��Ʒ�ʮa�����P��Ҫ��Ӱ����mȻ��֮ǰ�Ĺ����У��������ò�ͬ�Y���Ķ�����̼����̼�����õ��˾��в�ͬ�g�����ܹ���z���ϣ������ڴ�����͹���z���ϵ��@Ӱ�l���͹�ˇ������δȫ�����롣

  ᘌ��@һ���}���㽭��W��V���n�}�M�c��늿ƌW�c���̌WԺ������n�}�M�ٶȺ���������̼��h���������������z���@Ӱ��ˇ�״��M����ϵ�y��̽���������Y�x������@Ӱ�������飬����@Ӱ�ض�0�ȣ�����@Ӱ�r�g30 s����ԓ�l���£�PCHC���`���Ⱥ͌��ȶȷքe��208 ��C/cm²��3.06�������F��53 nm�ķֱ��ʣ����^�ˏV��ʹ�õ�PMMA-950k���������z�����Ќ��û�ǰ����

�D1 ��̼��h������(PCHC)�ĺϳɷ����������

  �о�������ͨ�^�����n�}�M�����_�l�ĸ߻��ԟo���ٴ߻����ϳ��˸߷�����PCHC��J. Am. Chem. Soc., 2020, 142, 12245�����o���ٴ߻�����ʹ�Ï�Դ�^�ϱ����˽����x�ӌ�����zƷ�|��Ӱ푣����Ƃ�ĸ߷�������̼��h���������Mһ��������PCHC�Ĺ�����ܡ�

�D2 ��ͬ�@Ӱ�l����PCHC�Č��ȶ��������`���ȡ����ȶȅ���

  �о��ߌ��@Ӱ�����@Ӱ�ضȡ��@Ӱ�r�g������ˇ�����M����Ԕ���؃������ȣ�

• 1���Y�x�����N���܄����׻�������ͪ�������������ױ����ȱ����������μ��Ѵ����������棩���ķN�����܄������������״��������顢�׻��嶡���ѣ��Լ��ķN��ͬ���w�e�ȣ��õ�����@Ӱ�������飨�`����157 ��C/cm²�����ȶ�2.51����

  
  

• 2���Y�x�����M�@Ӱ�ضȣ�0-50 ��C�����l�FPCHC���`�����S�ض��½����������ͣ������ȶ��@����ߣ���0 ��C�r�_�����

  
  

• 3���Y�x���ĽM�@Ӱ�r�g��15-120 s�����l�F�@Ӱ�r�g���������Ӱ��^С���@Ӱ�r�gԽ�L���`����Խ�ߣ����ȶ�Խ�ͣ����Ԍ�����z�����M�о����{�ء�

�D3 PCHC��PMMA-950k�ķֱ��ʱ����Y��

  �������ͬ��̗l���Œ�PCHC���̘I��PMMA-950k���������z�M�зֱ������܌��ȣ��Y���@ʾPCHC�ķֱ��ʞ�53 nm������PMMA-950k��62 nm�����C������Z�������`���ȡ��ֱ��ʡ���߅���ֲڶȵĽ�򞅢������1.89×10^-5 ��C·nm³����PMMA-950kС72%���C��PCHC���и����������������ܣ��ɞ���һ�����������z���ϵ����������߲�������V��ʹ�õ�PMMA-950K�z��

  �����о��ԡ���̼��h���������������z�@Ӱ��ˇ���������}�����l���ڡ����û��W���������鱾�ڵķ���Փ�ġ���ʿ���������Փ�ĵ�һ���ߣ���V���о��T��Փ��ͨӍ���ߡ�ԓ�о��õ����㽭ʡ��Ȼ�ƌW����͇�����Ȼ�ƌW�����֧�֡�

  Փ����Ϣ�������, �R���, �_�, �R�g, �, ��V��. ������̼����̼��h���������������z�@Ӱ��ˇ����[J]. ���û��W, 2021, 38(9): 0-0. Optimization of Development Process for Carbon Dioxide-Based Poly(cyclohexene carbonate) Electron Beam Resist, Chinese Journal of Applied Chemistry, 2021, 38(9): 0-0. 

  http://yyhx.ciac.jl.cn/CN/Y2021/V38/I9/0