目前本課題組的研究方�?yàn)槲㈦娮訉W(xué)與固體電子學(xué)方向。研究重�(diǎn)是超高性能平板顯示器件中的柔性透明薄膜晶體管的研究。本課題組主要實(shí)�(yàn)�(shè)備包括:磁控濺射系統(tǒng)、離子束濺射系統(tǒng)、熔膠凝膠系�(tǒng)、等離子體清洗系�(tǒng)、UV-Ozone系統(tǒng)、熱蒸發(fā)系統(tǒng)、靜電紡絲系�(tǒng),原子層沉積系統(tǒng)、反�(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)、掃描電鏡、圖形發(fā)生器、光刻機(jī)、蔡司光�(xué)顯微鏡,真空管式爐、馬弗爐、超高精度半�(dǎo)體參�(shù)�(cè)試系�(tǒng)(測(cè)量精度達(dá)�10 fA)、超高精度阻抗參�(shù)�(cè)量系�(tǒng)等�
歡迎有志于在微電子器件領(lǐng)域�(jìn)一步深造的研究生和本科生加入我們課題組�
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