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PVD薄膜生長的Monte Carlo模擬 |
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| 資料類型： |
PDF文件
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| 關(guān)鍵詞： |
物理氣相沉積 蒙特卡羅模擬 薄膜生長 |
| 資料大小： |
172K |
| 所屬學(xué)科： |
模擬技術(shù) |
| 來源： |
來源網(wǎng)絡(luò) |
| 簡介： |
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蒙特卡羅（MonteCarlo，MC）和分子動(dòng)力學(xué)是模擬薄膜生長的兩種基本方法。本文結(jié)合各種PVD技術(shù)的工藝特點(diǎn)，介紹了薄膜生長的MonteCarlo模擬。詳盡地總結(jié)了載能粒子沉積薄膜生長的KineticMonteCarlo模型和算法。最后指出建立精細(xì)的模型、算法并適當(dāng)應(yīng)用分子動(dòng)力學(xué)是提高模擬可靠性的方法。 |
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| 上傳人： |
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| 上傳時(shí)間： |
2007-07-06 15:47:19 |
| 下載次數(shù)： |
595 |
| 消耗積分： |
2
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| dengwei 2009-09-11 9:23:25 |
| eeeeeeee |
| zuowu 2009-03-29 18:49:03 |
| hao ````````````````````````````````````` |
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