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基片上薄膜生長(zhǎng)過程的計(jì)算機(jī)模擬

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關(guān)鍵詞：

薄膜生長(zhǎng) 沉積計(jì)算機(jī)模擬

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462K

所屬學(xué)科：

模擬技術(shù)

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根據(jù)薄膜的成核統(tǒng)計(jì)理論，考慮吸附粒子的碰撞、遷移、蒸發(fā)等因素，針對(duì)薄膜單層和多層核生長(zhǎng)類型的生長(zhǎng)，用計(jì)算機(jī)進(jìn)行仿真模擬。同時(shí)研究了幾種因素對(duì)粒子沉積成膜的影響。根據(jù)計(jì)算機(jī)模擬情況，得出了粒子百分變化與成團(tuán)粒子百分變化關(guān)系、生長(zhǎng)過程對(duì)粒子沉積成膜的影響。論證了按成核理論下的隨機(jī)統(tǒng)計(jì)規(guī)律生成的多層粒子膜,其厚度方面的不均勻性與實(shí)際是一致的。并給出了計(jì)算機(jī)模擬研究薄膜微觀生長(zhǎng)過程的立體圖象。

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2007-07-09 13:36:59

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biaofengdebiao 2011-06-23 20:52:04

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