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氮氣流量對電弧離子鍍TiN薄膜性能的影響

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氮化鈦是一種應用較廣泛的硬質薄膜，其性能受許多因素的影響，本文只改變氮氣流量，固定其它工藝參數，對鍍覆的氮化鈦薄膜性能進行了分析和研究，得出了獲得較好氮化鈦薄膜綜合性能的氮氣流量

作者：

李春明史新偉邱萬奇劉正義

上傳時間：

2007-07-06 16:38:23

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