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MOCVD法制備SnO2單晶薄膜的結構和光學性質  
MOCVD法制備SnO2單晶薄膜的結構和光學性質
資料類型: PDF文件
關鍵詞: MOCVD  SnO2單晶薄膜  藍寶石襯底  
資料大?。?/td> 483K
所屬學科: 分子表征
來源: 2007年第六屆中國功能材料及其應用學術會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19,武漢)
簡介:
用金屬有機物化學氣相沉積(MOCVD)法在藍寶石(0001)襯底上制備出高質量的氧化錫(SnO2)單晶薄膜。對制備薄膜的結構和光學性質進行了研究。制備樣品具有純SnO2的四方金紅石結構,其外延生長方向為SnO2(100)∥Al2O3(0001)。薄膜均勻、致密,具有很好的取向性和結晶性。透射譜測量結果表明,在可見光區薄膜的絕對透過率達到了90%以上。
作者: 馮先進,馬 瑾,楊 帆,欒彩娜
上傳時間: 2008-09-09 17:13:06
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