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CdIn2O4薄膜性質及其應用研究 |
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| 資料類型： |
PDF文件
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| 關鍵詞： |
CdIn2O4薄膜 退火處理 電阻率 氣敏性 |
| 資料大小： |
113K |
| 所屬學科： |
分子表征 |
| 來源： |
2004年第五屆中國功能材料及其應用學術會議（9.12-9.16，北京.秦皇島） |
| 簡介： |
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利用射頻反應濺射法在玻璃襯底上在Ar和O2氣氛中從Cd-In合金靶上制備出了CdIn2O4薄膜。實驗結果表明退火處理對CdIn2O4薄膜的光電性質有重要的影響。退火處理進一步降低了CdIn2O4膜的電阻率，在可見光區域內該膜的最高光透射率超過了90%。研究還發現CdIn2O4膜電阻在CO氣氛中十分敏感的發生變化，并且提高溫度和在膜上生長不連續的Pt粒子可進一步增強氣敏特性。實驗研究還表明CdIn2O4膜氣敏傳感器響應時間比通用的氣敏元件快得多。 |
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| 作者： |
張津
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| 上傳時間： |
2007-07-13 14:14:51 |
| 下載次數： |
615 |
| 消耗積分： |
2
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