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高度(100)取向PLT/PZT 多層鐵電薄膜的制備與性能研究  
高度(100)取向PLT/PZT 多層鐵電薄膜的制備與性能研究
資料類型: PDF文件
關鍵詞: plt/pzt  多層鐵電薄膜  磁控濺射  (100)取向  電學性質  
資料大小: 316K
所屬學科: 分子表征
來源: 2007年第六屆中國功能材料及其應用學術會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19,武漢)
簡介:
利用射頻磁控濺射技術,以PbOx為過渡層,在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)襯底上,采用原位濺射技術制備了高度(100)取向的[(Pb0.90La0.10)Ti0.975O3/Pb(Zr0.20Ti0.80)O3]n(n=1,2){簡記為[PLT/PZT]n}多層鐵電薄膜,研究了層數對多層鐵電薄膜介電性能和鐵電性能的影響。研究得出,(100)取向的PbOx過渡層導致了[PLT/PZT]n多層鐵電薄膜的(100)擇優取向;高度(100)擇優取向的[PLT/PZT]2薄膜具有更大的剩余極化(2Pr=31.45μC/cm)和更好的“蝴蝶”狀C-V曲線。這些研究結果表明,所制備的(100)取向的[PLT/PZT]2多層鐵電薄膜具有優良的鐵電性能。
作者: 吳家剛,朱基亮,肖定全,朱建國,譚浚哲,張青磊
上傳時間: 2008-08-28 13:54:38
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12346    2010-06-02 13:27:45
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